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講演抄録/キーワード
講演名 2020-10-29 15:10
マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果
谷口 颯郡山春人小林康之遠田義晴弘前大)・吹留博一東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2020-17
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
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文献情報 信学技報, vol. 120, no. 217, CPM2020-17, pp. 23-26, 2020年10月.
資料番号 CPM2020-17 
発行日 2020-10-22 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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PDFダウンロード CPM2020-17

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2020-10-29 - 2020-10-29 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2020-10-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Hydrogen effects on the properties of BCN films deposited by magnetron sputtering 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 谷口 颯 / Ryu Taniguchi / タニグチ リュウ
第1著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 郡山 春人 / Haruto Koriyama / コオリヤマ ハルト
第2著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 小林 康之 / Yasuyuki Kobayashi / コバヤシ ヤスユキ
第3著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 遠田 義晴 / Yoshiharu Enta / エンタ ヨシハル
第4著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 吹留 博一 / Hirokazu Fukidome / フキドメ ヒロカズ
第5著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中澤 日出樹 / Hideki Nakazawa / ナカザワ ヒデキ
第6著者 所属(和/英) 弘前大学 (略称: 弘前大)
Hirosaki University (略称: Hirosaki Univ.)
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講演者
発表日時 2020-10-29 15:10:00 
発表時間 20 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2020-17 
巻番号(vol) IEICE-120 
号番号(no) no.217 
ページ範囲 pp.23-26 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-CPM-2020-10-22 


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