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| 講演名 | 2020-10-22 15:20 強誘電体薄膜BiFeO3の格子整合とX線構造分析 ○今泉文伸・仲田陸人（小山高専）  SDM2020-20 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2020-20 |
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| 抄録 | （和） | 強誘電体や圧電材料を用いたデバイス、センサは現在様々な分野で使用されているが、主材料として使われているPb(Zr,Ti)O3には鉛が含まれており、代替えの材料が求められている。本研究では鉛が含まれていない圧電材料であるBiFeO3 (BFO)薄膜を、RFスパッタリング法を用いて成膜し基礎的な物性について調べた。また、基板にはBFOと格子定数のミスマッチングが少ないDyScO3（DSO）を用いた。DSOの格子定数はa=0.394nmであり、BFOの格子定数に非常に近い利点がある。成膜後は、400度から700度の温度範囲で結晶化の熱処理を行い、XRDで配向性を確認した。BFOは主に（110）配向で形成されており、さらに700度まで熱処理温度の上昇することで、(001)配向も出現していることが分かった。次にXPSを用いて2種類の結合（FeOとFe2O3）を確認した。DSO基板とBFOの密着性や剥離に関する問題は特にみられなかった。本研究で開発したBFOは、強誘電体や圧電体の各種デバイスの材料として利用できる可能性があることが分かった。 |
| （英） | With the increasing use of Internet of Things in various domains, which has led to an increase in the number of sensors being installed, it is indispensable to develop environment friendly sensor modules. Correspondingly, we investigated the formation of BiFeO3 films as a lead-free ferroelectric material on DyScO3 substrate. Experiments were performed to analyze the film formation process via the sputtering method, followed by heat treatment. Consequently, a BiFeO3 film was formed with a single (110) orientation, and two types of bonds (FeO and Fe2O3) were observed. Additionally, no issues related to adhesion or peeling were found. Thus, the developed BiFeO3 film can be potentially used as a ferroelectric material in various devices. | |
| キーワード | （和） | 圧電材料 / BiFeO3薄膜 / / / / / / |
| （英） | Piezoelectric material / BiFeO3 thin film / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 120, no. 205, SDM2020-20, pp. 30-33, 2020年10月. | |
| 資料番号 | SDM2020-20 | |
| 発行日 | 2020-10-15 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2020-20 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2020-20 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2020-10-22 - 2020-10-22 |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2020-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 強誘電体薄膜BiFeO3の格子整合とX線構造分析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lattice Matching and X-ray Structural Analysis of Ferroelectric Thin Film BiFeO3 |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電材料 / Piezoelectric material |
| キーワード(2)（和/英） | BiFeO3薄膜 / BiFeO3 thin film |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 今泉 文伸 / Fuminobu Imaizumi / イマイズミ フミノブ |
| 第1著者 所属（和/英） | 小山工業高等専門学校 (略称： 小山高専) National Institute of Technologoy, Oyama College (略称： NIT, Oyama College) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 仲田 陸人 / Rikuto Nakada / ナカダ リクト |
| 第2著者 所属（和/英） | 小山工業高等専門学校 (略称： 小山高専) National Institute of Technologoy, Oyama College (略称： NIT, Oyama College) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2020-10-22 15:20:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2020-20 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | no.205 |
| ページ範囲 | pp.30-33 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2020-10-15 (SDM) |
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