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講演抄録/キーワード
講演名 2020-09-28 15:15
基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較
龍見亮汰柳谷隆彦早大US2020-37
抄録 (和) 電気機械結合係数(kt2)は圧電薄膜デバイスの性能を決定づけるパラメータの1つである。例えば、kt2が大きいほど、スマートフォン用のRF-BAWフィルタは広帯域・低挿入損失となり、より多くの無線規格を満たすことができる。BAWフィルタ用の圧電薄膜のkt2評価にはIEEE standardの共振反共振法が用いられる。しかし、共振反共振法は基板なし圧電薄膜共振子においてでしか適用できない。基板付き圧電薄膜共振子(ウェハ状態)から基板なし圧電薄膜共振子を作製するためには、基板エッチング等の工程に時間とコストがかかる。そのため、As-grownウェハのままkt2を抽出する意義は大きい。基板付き薄膜共振子のkt2の抽出法として、変換損失法が報告されているが、基板内の損失によりkt2が低く見積もられてしまう。そこで我々はこの問題点を克服するために、基板内の損失を推定して差し引く方法と、基板内の損失を含まない電磁結合信号を用いる方法を提案する。 
(英) According to the IEEE standard, the resonance-antiresonance method for a self-standing film structure is recommended to determine kt2 of the piezoelectric film. It is convenient and cost-effective to determine the kt2 from the film/wafer structure (HBAR) or epitaxial wafers. kt2 is underestimated due to the acoustic losses in the substrate in the conventional conversion loss (CL) method, which can extract the kt2 from HBAR. In this study, we introduce two CL methods: (i) the method subtracting the acoustic losses in the substrate, (ii) the method using electromagnetic signal including no acoustic losses.
キーワード (和) 電気機械結合係数 / HBAR / ScAlN / 高周波測定 / / / /  
(英) electromechanical coupling coefficient / HBAR / ScAlN / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 120, no. 174, US2020-37, pp. 57-60, 2020年9月.
資料番号 US2020-37 
発行日 2020-09-21 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2020-37

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2020-09-28 - 2020-09-28 
開催地(和) オンライン開催 
開催地(英) Online 
テーマ(和) 一般(共催:東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2020-09-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Extraction of kt2 of HBAR by new conversion loss without acoustic losses in the substrate 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 電気機械結合係数 / electromechanical coupling coefficient  
キーワード(2)(和/英) HBAR / HBAR  
キーワード(3)(和/英) ScAlN / ScAlN  
キーワード(4)(和/英) 高周波測定 /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 龍見 亮汰 / Ryota Tatsumi / タツミ リョウタ
第1著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 柳谷 隆彦 / Yanagitani Takahiko / ヤナギタニ タカヒコ
第2著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
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講演者
発表日時 2020-09-28 15:15:00 
発表時間 25 
申込先研究会 US 
資料番号 IEICE-US2020-37 
巻番号(vol) IEICE-120 
号番号(no) no.174 
ページ範囲 pp.57-60 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-US-2020-09-21 


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