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講演抄録/キーワード
講演名 2020-02-07 09:20
BTA-H2O2溶液中Cu, Co表面の保護膜形成に関する考察
近藤英一遠山真央竹内翔太金 蓮花山梨大)・小篠涼太濱田聡美島 昇平檜山浩國荏原製作所SDM2019-88 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2019-88
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文献情報 信学技報, vol. 119, no. 410, SDM2019-88, pp. 1-3, 2020年2月.
資料番号 SDM2019-88 
発行日 2020-01-31 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2020-02-07 - 2020-02-07 
開催地(和) 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室(419号室) 
開催地(英) Tokyo University-Hongo 
テーマ(和) 配線・実装技術と関連材料技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2020-02-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) BTA-H2O2溶液中Cu, Co表面の保護膜形成に関する考察 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Formation of passivation layer on Cu and Co surfaces in BTA-H2O2 aqueous solutions 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 近藤 英一 / Kondoh, Eiichi / コンドウ エイイチ
第1著者 所属(和/英) 山梨大学 (略称: 山梨大)
University of Yamanashi (略称: Univ. Yamanashi)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 遠山 真央 / Toyama, Mao / トオヤマ マオ
第2著者 所属(和/英) 山梨大学 (略称: 山梨大)
University of Yamanashi (略称: Univ. Yamanashi)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹内 翔太 / Takeuchi, Shota / タケウチ ショウタ
第3著者 所属(和/英) 山梨大学 (略称: 山梨大)
University of Yamanashi (略称: Univ. Yamanashi)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 金 蓮花 / Jin, Lianhua / キン レンカ
第4著者 所属(和/英) 山梨大学 (略称: 山梨大)
University of Yamanashi (略称: Univ. Yamanashi)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 小篠 涼太 / Ryota Koshino /
第5著者 所属(和/英) 荏原製作所 (略称: 荏原製作所)
Ebara Corp. (略称: Ebara Corp.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 濱田 聡美 / Hamada, Satomi / ハマダ サトミ
第6著者 所属(和/英) 荏原製作所 (略称: 荏原製作所)
Ebara Corp. (略称: Ebara Corp.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 島 昇平 / Shima, Shohei / シマ ショウヘイ
第7著者 所属(和/英) 荏原製作所 (略称: 荏原製作所)
Ebara Corp. (略称: Ebara Corp.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 檜山 浩國 / Hiyama, Hirokuni / ヒヤマ ヒロクニ
第8著者 所属(和/英) 荏原製作所 (略称: 荏原製作所)
Ebara Corp. (略称: Ebara Corp.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2020-02-07 09:20:00 
発表時間 15分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2019-88 
巻番号(vol) vol.119 
号番号(no) no.410 
ページ範囲 pp.1-3 
ページ数
発行日 2020-01-31 (SDM) 


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