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講演抄録／キーワード
講演名 2020-01-24 10:10
［ポスター講演］熱拡散により作製した深紫外発光ZnAl2O4薄膜の膜質評価
○今川海斗・園田直樹・小南裕子・原　和彦（静岡大）   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 （和） スパッタリング法により、サファイア基板上にZnO膜を堆積させ、熱拡散によりZnAl2O4薄膜を作製した。電子線励起発光測定を行い、膜内部の発光層の分布について、加速電圧の変化に伴う電子線侵入深さと、紫外発光強度の関係から分析を行った。 
（英） ZnAl2O4 thin films for deep UV emitting phosphor prepared by deposition of ZnO on sapphire substrates and thermal diffusion process at 1000 oC. The distribution of the emitting layer of thin films was analyzed from the relationship between the penetration depth of electron beam by increasing acceleration voltage and the UV emission intensity by cathodoluminescence.
キーワード （和） ZnAl2O4薄膜 / 紫外発光蛍光体 / 電子線励起発光 / 電子線侵入深さ分析 / / / /  
（英） ZnAl2O4 thin film / UV emitting phosphor / Cathodoluminescence / Depth profiling by electron beam / / / /  
文献情報 信学技報
資料番号  
発行日  
ISSN  
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研究会情報
研究会 EID ITE-IDY IEIJ-SSL SID-JC IEE-EDD  
開催期間 2020-01-23 - 2020-01-24 
開催地（和） 鳥取大鳥取キャンパス 
開催地（英） Tottori Univ. 
テーマ（和） 発光型／非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ（英）  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ITE-IDY 
会議コード 2020-01-IDY-EID-SSL-JC-EDD 
本文の言語 日本語 
タイトル（和） 熱拡散により作製した深紫外発光ZnAl2O4薄膜の膜質評価 
サブタイトル（和）  
タイトル（英） Quality of deep ultraviolet emitting ZnAl2O4 thin films prepared by thermal diffusion 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） ZnAl2O4薄膜 / ZnAl2O4 thin film  
キーワード(2)（和/英） 紫外発光蛍光体 / UV emitting phosphor  
キーワード(3)（和/英） 電子線励起発光 / Cathodoluminescence  
キーワード(4)（和/英） 電子線侵入深さ分析 / Depth profiling by electron beam  
キーワード(5)（和/英） /  
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キーワード(7)（和/英） /  
キーワード(8)（和/英） /  
第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 今川 海斗 / Kaito Imagawa / イマガワ カイト
第1著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） 園田 直樹 / Naoki Sonoda / ソノダ ナオキ
第2著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 小南 裕子 / Hiroko Kominami / コミナミ ヒロコ
第3著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 原 和彦 / Kazuhiko Hara / ハラ カズヒコ
第4著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2020-01-24 10:10:00 
発表時間 5分 
申込先研究会 ITE-IDY 
資料番号  
巻番号（vol） vol.119 
号番号（no） no.385 
ページ範囲  
ページ数  
発行日  

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