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講演抄録/キーワード
講演名 2020-01-23 13:10
[ポスター講演]ZnO系ナノ粒子分散薄膜のミストCVD
大城巨暉小野田翔悟奈良俊宏小南裕子原 和彦静岡大)   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 (和) 新規の蛍光体応用のための材料としてナノ粒子分散半導体薄膜を提案し,その一例として,ZnOナノ粒子分散Ga2O3薄膜の作製をミストCVDにより試みた.実験では,5 mmol/LのGaCl3水溶液に,粒径約20 nmのZnO粒子を加えて原料溶液をミスト化し,c面サファイア基板上に500 ℃で成膜を行った.これらの試料について,表面モフォロジー,結晶性および発光特性の評価を行った結果,ミストにより輸送されたZnOナノ粒子が膜特性を変化させ得ることを示した. 
(英) As one of the nanoparticle-dispersed semiconductor films we have proposed for novel phosphor applications, ZnO-nanoparticle-dispersed Ga2O3 films were grown by mist-chemical vapor deposition. Mist of 5 mmol/L GaCl3 solution mixed with ZnO nanoparticles with a diameter of about 20 nm was transported to the reactor, where the film was deposited on a c-plane sapphire substrate at 500 ℃. The characterization of the grown samples by scanning microscopy, x-ray diffraction and photoluminescence suggests that the transported ZnO nanoparticle changed their properties.
キーワード (和) ナノ粒子 / ミストCVD / ZnO / Ga2O3 / / / /  
(英) nanoparticle / mist CVD / ZnO / Ga2O3 / / / /  
文献情報 信学技報
資料番号  
発行日  
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
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研究会情報
研究会 EID ITE-IDY IEIJ-SSL SID-JC IEE-EDD  
開催期間 2020-01-23 - 2020-01-24 
開催地(和) 鳥取大鳥取キャンパス 
開催地(英) Tottori Univ. 
テーマ(和) 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ITE-IDY 
会議コード 2020-01-IDY-EID-SSL-JC-EDD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ZnO系ナノ粒子分散薄膜のミストCVD 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Mist CVD of ZnO-based nanoparticle dispersed thin films 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ナノ粒子 / nanoparticle  
キーワード(2)(和/英) ミストCVD / mist CVD  
キーワード(3)(和/英) ZnO / ZnO  
キーワード(4)(和/英) Ga2O3 / Ga2O3  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 大城 巨暉 / Naoki Oshiro / オオシロ ナオキ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小野田 翔悟 / Shogo Onoda / オノダ ショウゴ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 奈良 俊宏 / Toshihiro Nara / ナラ トシヒロ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 小南 裕子 / Hiroko Kominami / コミナミ ヒロコ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 原 和彦 / Kazuhiko Hara / ハラ カズヒコ
第5著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者
発表日時 2020-01-23 13:10:00 
発表時間
申込先研究会 ITE-IDY 
資料番号  
巻番号(vol) IEICE-119 
号番号(no) no.385 
ページ範囲  
ページ数 IEICE- 
発行日  


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