講演抄録/キーワード |
講演名 |
2020-01-15 16:20
負荷変動に対してソフトスイッチングを維持するプラズマ発生器駆動用共振インバータのリアクタンス補償回路の提案 ○白石達也・梅谷和弘・平木英治(岡山大)・池成達也・福本佳樹(ダイヘン) EE2019-61 |
抄録 |
(和) |
近年,半導体製造装置用のプラズマ発生器では,その電源に効率の高い共振インバータの採用が進んでいる。しかし,共振インバータは負荷が容量性の時,ソフトスイッチングが成立せず,スイッチング損失増大によって破壊しやすい。これまでは,機械式のリアクタンス補償装置を設け,負荷インピーダンスを常に誘導性に保つ制御をしてきたが,機械式の装置では応答速度が遅く,突発的なプラズマの状態変動に伴う負荷変動に対応できなかった。そこで,本研究では,応答の早いスイッチング回路を応用したリアクタンス補償回路の使用を提案し,その適用効果を実験的に検証したので報告する。 |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
プラズマ生成器 / 高周波インバータ / 共振インバータ / 自己調整補助回路 / / / / |
(英) |
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文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 364, EE2019-61, pp. 73-77, 2020年1月. |
資料番号 |
EE2019-61 |
発行日 |
2020-01-08 (EE) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
EE2019-61 |
研究会情報 |
研究会 |
EE |
開催期間 |
2020-01-15 - 2020-01-16 |
開催地(和) |
宝山ホール(鹿児島市) |
開催地(英) |
HOUZAN HALL |
テーマ(和) |
回路技術及び高効率エネルギー変換技術関連,一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
EE |
会議コード |
2020-01-EE |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
負荷変動に対してソフトスイッチングを維持するプラズマ発生器駆動用共振インバータのリアクタンス補償回路の提案 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Reactance Compensator for Resonant Inverter for Maintaining Soft-Switching Against Sudden Load Impedance Change |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
プラズマ生成器 / |
キーワード(2)(和/英) |
高周波インバータ / |
キーワード(3)(和/英) |
共振インバータ / |
キーワード(4)(和/英) |
自己調整補助回路 / |
キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
白石 達也 / Tatsuya Shiraishi / シライシ タツヤ |
第1著者 所属(和/英) |
岡山大学 (略称: 岡山大)
Okayama University (略称: Okayama Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
梅谷 和弘 / Kazuhiro Umetani / ウメタニ カズヒロ |
第2著者 所属(和/英) |
岡山大学 (略称: 岡山大)
Okayama University (略称: Okayama Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
平木 英治 / Eiji Hiraki / ヒラキ エイジ |
第3著者 所属(和/英) |
岡山大学 (略称: 岡山大)
Okayama University (略称: Okayama Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
池成 達也 / Tatsuya Ikenari / イケナリ タツヤ |
第4著者 所属(和/英) |
株式会社ダイヘン (略称: ダイヘン)
DAIHEN Corporation (略称: DAIHEN) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
福本 佳樹 / Yoshiki Fukumoto / フクモト ヨシキ |
第5著者 所属(和/英) |
株式会社ダイヘン (略称: ダイヘン)
DAIHEN Corporation (略称: DAIHEN) |
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第6著者 所属(和/英) |
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第7著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第19著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2020-01-15 16:20:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
EE |
資料番号 |
EE2019-61 |
巻番号(vol) |
vol.119 |
号番号(no) |
no.364 |
ページ範囲 |
pp.73-77 |
ページ数 |
5 |
発行日 |
2020-01-08 (EE) |