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| 講演名 | 2019-11-22 10:50 二次電子放出効率を制御した高速電子方式撮像管 ○仲田真人・三村秀典・畑中義式・増澤智昭・根尾陽一郎（静岡大）  ED2019-72 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2019-72 |
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| 抄録 | （和） | 福島の原発事故以降，特殊な環境下で高い耐環境性を持つイメージングセンサの開発が重要となってきた．例として原子炉内のモニター用途には高い耐放射線性と高温動作可能といった要求がある．CCDやCMOSなどの半導体イメージセンサでは放射線の影響でゲート酸化膜や結晶構造に欠陥が発生するため，長時間にわたる撮像が困難である．一方，撮像管は微細構造がなく耐環境性に優れた真空電子を利用するため，高い耐放射線性が期待できる． 本研究では高速電子線入射により画像信号として電子を蓄積し動作する高速度方式を提案する．電子は正孔に比べ移動度が高いため高速応答が可能であり残像抑制，高効率なキャリア収集などの効果が期待される．今回提案した駆動方式を検証するため，光電膜の電子ビーム入射側の三硫化アンチモンと光電膜と近接に対向するメッシュ電極からなる電子読み取り系の二次電子放出効率を印加メッシュ電圧により制御し画像化を試みた．また，撮像管の動作温度を変化させた時の画像変化について評価を行なった． |
| （英） | Since the Fukushima nuclear accident, it has become important to develop imaging sensors that have high environmental resistance under special circumstances. As an example, there is a request for high radiation resistance and high temperature operation for monitoring in nuclear reactors. Semiconductor image sensors such as CCD and CMOS have a defect in the gate oxide film and crystal structure due to the effect of radiation, so it is difficult to capture images for a long time. On the other hand, since the imaging tube uses vacuum electrons with no microstructure, high radiation resistance is expected. In this study, we propose a high speed electron beam reading that operates by accumulating electrons as image signals. Electrons have a higher mobility than holes, so they are expected to have afterimage suppression and highly efficient carrier collection. To verify the proposed method, we attempted to image by controlling the secondary electron yield on the electron beam incident side of the photoconductive film by controlling the electrode voltage close to the photoconductive film. We evaluated the image changes when the environmental temperature of the tube was changed. |
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| キーワード | （和） | 撮像管 / イメージングセンサ / / / / / / |
| （英） | imaging tube / imaging sensors / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 305, ED2019-72, pp. 51-54, 2019年11月. | |
| 資料番号 | ED2019-72 | |
| 発行日 | 2019-11-14 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2019-72 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2019-72 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2019-11-21 - 2019-11-22 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2019-11-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 二次電子放出効率を制御した高速電子方式撮像管 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Research on imagingtube with high speed electron beam reading |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 撮像管 / imaging tube |
| キーワード(2)（和/英） | イメージングセンサ / imaging sensors |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 仲田 真人 / Masato Nakada / ナカダ マサト |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Sizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三村 秀典 / Hidenori Mimura / ミムラ ヒデノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Sizuoka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 畑中 義式 / Yoshinori Hatanaka / ハタナカ ヨシノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Sizuoka Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 増澤 智昭 / Toshiaki Masuzawa / マスザワ トシアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Sizuoka Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo / ネオ ヨウイチロウ |
| 第5著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Sizuoka Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-11-22 10:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2019-72 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.305 |
| ページ範囲 | pp.51-54 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-11-14 (ED) |
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