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講演抄録/キーワード
講演名 2019-11-21 13:20
ICP-RIEによって作製されたGaNトレンチ側壁のダメージ評価
山田真嗣櫻井秀樹名大/アルバック)・長田大和中村敏幸上村隆一郎アルバック)・須田 淳加地 徹名大)   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 (和) GaN系トレンチゲート縦型パワー半導体デバイスを実現するための要素プロセス技術の一つである誘導結合型プラズマ反応性イオンエッチング(ICP-RIE)を用いたドライエッチング技術に関し、形状制御と低ダメージ化を両立させるためのGaNトレンチ形成技術を開発した。その効果をトレンチ側壁に形成したショットキーバリアダイオードで確認した。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) GaN / ICP-RIE / エッチング / ダメージ / ショットキーバリアダイオード / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 302, ED2019-40, pp. 33-35, 2019年11月.
資料番号 ED2019-40 
発行日 2019-11-14 (ED, CPM, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 CPM LQE ED  
開催期間 2019-11-21 - 2019-11-22 
開催地(和) 静岡大学(浜松) 
開催地(英) Shizuoka Univ. (Hamamatsu) 
テーマ(和) 窒化物半導体光・電デバイス、材料、関連技術、及び一般 
テーマ(英) Nitride Semiconductor Devices, Materials, Related Technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2019-11-CPM-LQE-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ICP-RIEによって作製されたGaNトレンチ側壁のダメージ評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Characterization of plasma-induced damage of GaN trench sidewall formed by ICP-RIE 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) GaN /  
キーワード(2)(和/英) ICP-RIE /  
キーワード(3)(和/英) エッチング /  
キーワード(4)(和/英) ダメージ /  
キーワード(5)(和/英) ショットキーバリアダイオード /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 真嗣 / Shinji Yamada / ヤマダ シンジ
第1著者 所属(和/英) 名古屋大学/株式会社 アルバック (略称: 名大/アルバック)
Nagoya University/ULVAC, Inc. (略称: Nagoya Univ./ULVAC)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 櫻井 秀樹 / Hideki Sakurai / サクライ ヒデキ
第2著者 所属(和/英) 名古屋大学/株式会社 アルバック (略称: 名大/アルバック)
Nagoya University/ULVAC, Inc. (略称: Nagoya Univ./ULVAC)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 長田 大和 / Yamato Osada / オサダ ヤマト
第3著者 所属(和/英) 株式会社 アルバック (略称: アルバック)
ULVAC, Inc. (略称: ULVAC)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 中村 敏幸 / Toshiyuki Nakamura / ナカムラ トシユキ
第4著者 所属(和/英) 株式会社 アルバック (略称: アルバック)
ULVAC, Inc. (略称: ULVAC)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 上村 隆一郎 / Ryuichiro Kamimura / カミムラ リュウイチロウ
第5著者 所属(和/英) 株式会社 アルバック (略称: アルバック)
ULVAC, Inc. (略称: ULVAC)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 須田 淳 / Jun Suda / スダ ジュン
第6著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 加地 徹 / Tetsu Kachi / カチ テツ
第7著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
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講演者
発表日時 2019-11-21 13:20:00 
発表時間 20 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2019-40,IEICE-CPM2019-59,IEICE-LQE2019-83 
巻番号(vol) IEICE-119 
号番号(no) no.302(ED), no.303(CPM), no.304(LQE) 
ページ範囲 pp.33-35 
ページ数 IEICE-3 
発行日 IEICE-ED-2019-11-14,IEICE-CPM-2019-11-14,IEICE-LQE-2019-11-14 


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