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講演抄録/キーワード
講演名 2019-11-21 15:45
ボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの大電流化
名渕雄太産総研/静岡大)・長尾昌善村上勝久産総研)・三村秀典根尾陽一郎静岡大ED2019-65 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-65
抄録 (和) 我々は、火山構造型ダブルゲートスピント型フィールドエミッタアレイを開発した。放出電流を大幅に減らさずに電子ビームを集束することができる特徴を持つ。しかしながら、ジュール熱の影響でエミッタが溶けてしまうため、1 µA/tip以上の大電流を電子放出することは困難だった。エミッタコーンの作製方法が特殊なため、エミッタ材料がNiに限定されていたためである。我々は、TWTのような大電流を必要とする分野の応用に向けて、NiとMoの合金(以下、Ni-Mo合金)でエミッタコーンを試作し、Ni FEAとNi-Mo合金FEAのそれぞれの電子放出特性を比較した。Ni FEAは1 µA/tip以上の電子放出をしたところで壊れてしまった。一方、1000 tipのNi-Mo合金FEAは最大で2 mAの電子放出を観測できた。また、寿命測定では1000 tipのNi-Mo合金FEAが70時間にわたって0.1 mA以上の放出電流で劣化が起こらないことが分かった。No-Mo合金エミッタは、大電流動作とビーム集束を両立することを可能にすると期待できる。 
(英) We have developed a Volcano-structured double gate Spindt-type field emitter arrays (VDGS-FEA). It can focus the electron beam without significant degradation of emission current. It was, however, difficult to operate at a high current more than 1 A/tip due to melt down by Joule heating. This is because the emitter material is restricted to Ni due to the unique fabrication method. We tried to use Ni-Mo alloy (Ni-Mo alloy) as emitter material for high current applications such as traveling wave tube (TWT). We compared emission characteristics between Ni and Ni-Mo alloy FEA. Ni FEA was damaged and broken when it emitted more than 1A/tip. On the other hand, Ni-Mo alloy FEA having 1000 tips reached a large emission current of about 1 mA. Lifetime test revealed that no degradation was observed at an emission current of more than 0.1 mA for 70 hours in the case of Ni-Mo alloy FEA having 1000-tips. We think that Ni-Mo alloy emitter will be a good solution for achieving high current operation and beam focusing simultaneously.
キーワード (和) スピント型フィールドエミッタアレイ / 火山構造 / Ni-Mo合金 / TWT / / / /  
(英) Spindt-type field emitter array / volcano-structure / Ni-Mo alloy / TWT / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 305, ED2019-65, pp. 25-28, 2019年11月.
資料番号 ED2019-65 
発行日 2019-11-14 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2019-65 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-65

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2019-11-21 - 2019-11-22 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子管と真空ナノエレクトロニクス 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2019-11-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの大電流化 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Volcano structured field emitter array for large current 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) スピント型フィールドエミッタアレイ / Spindt-type field emitter array  
キーワード(2)(和/英) 火山構造 / volcano-structure  
キーワード(3)(和/英) Ni-Mo合金 / Ni-Mo alloy  
キーワード(4)(和/英) TWT / TWT  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 名渕 雄太 / Yuta Nabuchi / ナブチ ユウタ
第1著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所/静岡大学 (略称: 産総研/静岡大)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology/Shizuoka University (略称: AIST/Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ
第2著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 村上 勝久 / Katsuhisa Murakami / ムラカミ カツヒサ
第3著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: AIST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 三村 秀典 / Hidenori Mimura / ミムラ ヒデノリ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo / ネオ ヨウイチロウ
第5著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者
発表日時 2019-11-21 15:45:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2019-65 
巻番号(vol) IEICE-119 
号番号(no) no.305 
ページ範囲 pp.25-28 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-ED-2019-11-14 


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