講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-11-21 15:45
ボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの大電流化 ○名渕雄太(産総研/静岡大)・長尾昌善・村上勝久(産総研)・三村秀典・根尾陽一郎(静岡大) ED2019-65 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2019-65 |
抄録 |
(和) |
我々は、火山構造型ダブルゲートスピント型フィールドエミッタアレイを開発した。放出電流を大幅に減らさずに電子ビームを集束することができる特徴を持つ。しかしながら、ジュール熱の影響でエミッタが溶けてしまうため、1 µA/tip以上の大電流を電子放出することは困難だった。エミッタコーンの作製方法が特殊なため、エミッタ材料がNiに限定されていたためである。我々は、TWTのような大電流を必要とする分野の応用に向けて、NiとMoの合金(以下、Ni-Mo合金)でエミッタコーンを試作し、Ni FEAとNi-Mo合金FEAのそれぞれの電子放出特性を比較した。Ni FEAは1 µA/tip以上の電子放出をしたところで壊れてしまった。一方、1000 tipのNi-Mo合金FEAは最大で2 mAの電子放出を観測できた。また、寿命測定では1000 tipのNi-Mo合金FEAが70時間にわたって0.1 mA以上の放出電流で劣化が起こらないことが分かった。No-Mo合金エミッタは、大電流動作とビーム集束を両立することを可能にすると期待できる。 |
(英) |
We have developed a Volcano-structured double gate Spindt-type field emitter arrays (VDGS-FEA). It can focus the electron beam without significant degradation of emission current. It was, however, difficult to operate at a high current more than 1 A/tip due to melt down by Joule heating. This is because the emitter material is restricted to Ni due to the unique fabrication method. We tried to use Ni-Mo alloy (Ni-Mo alloy) as emitter material for high current applications such as traveling wave tube (TWT). We compared emission characteristics between Ni and Ni-Mo alloy FEA. Ni FEA was damaged and broken when it emitted more than 1A/tip. On the other hand, Ni-Mo alloy FEA having 1000 tips reached a large emission current of about 1 mA. Lifetime test revealed that no degradation was observed at an emission current of more than 0.1 mA for 70 hours in the case of Ni-Mo alloy FEA having 1000-tips. We think that Ni-Mo alloy emitter will be a good solution for achieving high current operation and beam focusing simultaneously. |
キーワード |
(和) |
スピント型フィールドエミッタアレイ / 火山構造 / Ni-Mo合金 / TWT / / / / |
(英) |
Spindt-type field emitter array / volcano-structure / Ni-Mo alloy / TWT / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 305, ED2019-65, pp. 25-28, 2019年11月. |
資料番号 |
ED2019-65 |
発行日 |
2019-11-14 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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