講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-11-14 09:15
単発DCストレス測定による負バイアス温度不安定性のAC特性を再現可能なモデル ○保坂 巧(埼玉大)・西澤真一(福岡大)・岸田 亮(東京理科大)・松本高士(東大)・小林和淑(京都工繊大) VLD2019-35 DC2019-59 |
抄録 |
(和) |
本論文ではコンパクトな負バイアス温度不安定性(NBTI)モデルを提案する.提案モデルは反応拡散(tn)およびホールトラッピング(log(t))モデルに基づいている.単発長期のDCストレス/リカバリ測定から得られたデータを利用し,DCストレス/リカバリだけでなくACストレス/リカバリを表現可能なモデルパラメータを抽出する.モデルパラメータ抽出に優先順位をつけることで,デューティ比の異なるACストレス/リカバリ特性を表現可能であることを示す. |
(英) |
In this paper, simple and compact Negative Bias Temperature Instability (NBTI) model is proposed. The model is based on the reaction-diffusion (tn) and hole-trapping (log(t)) theories. Data with a single shot of DC stress and recovery are utilized to extract model parameters. Our key idea is setting the priority in the model fitting process to be possible for replicating AC dependency of NBTI stress and recovery effect. The proposed model successfully replicates stress and recovery with various duty cycles. |
キーワード |
(和) |
負バイアス温度不安定性(NBTI) / ACストレス依存性 / 反応拡散 / ホールトラッピング / / / / |
(英) |
negative bias temperature instability (NBTI) / AC stress dependency / reaction diffusion / hole trapping / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 119, no. 282, VLD2019-35, pp. 57-62, 2019年11月. |
資料番号 |
VLD2019-35 |
発行日 |
2019-11-06 (VLD, DC) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
VLD2019-35 DC2019-59 |