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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-10-09 15:00 Characterization of Nb films prepared by ultra-high vacuum sputtering system for qubit application ○Wei Qiu・Hirotaka Terai（NICT）  SCE2019-23 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2019-23 |
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| 抄録 | （和） | We have developed low-loss coplanar waveguide (CPW) resonators, which can be applied to many applications, such as superconducting quantum bits (qubits) and microwave kinetic inductance detectors. To realize low-loss superconducting resonators, we introduced a dc magnetron sputtering system with an ultra-low background pressure below 8 ?10-8 Pa. In this research, we characterize superconducting Nb films as a low-loss material for a CPW resonator. The Nb film properties, such as the film resistivity , superconducting transition temperature Tc, residual resistance ratio (RRR), film stress, and surface morphology have been studied. We also evaluated the internal loss by measuring the S11 and S21 parameters from CPW resonators made of Nb films. |
| （英） | We have developed low-loss coplanar waveguide (CPW) resonators, which can be applied to many applications, such as superconducting quantum bits (qubits) and microwave kinetic inductance detectors. To realize low-loss superconducting resonators, we introduced a dc magnetron sputtering system with an ultra-low background pressure below 8 ?10-8 Pa. In this research, we characterize superconducting Nb films as a low-loss material for a CPW resonator. The Nb film properties, such as the film resistivity , superconducting transition temperature Tc, residual resistance ratio (RRR), film stress, and surface morphology have been studied. We also evaluated the internal loss by measuring the S11 and S21 parameters from CPW resonators made of Nb films. | |
| キーワード | （和） | superconducting / microwave / kinetic inductance / Niobium / polycrystalline / sputtering / loss / |
| （英） | superconducting / microwave / kinetic inductance / Niobium / polycrystalline / sputtering / loss / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 219, SCE2019-23, pp. 7-10, 2019年10月. | |
| 資料番号 | SCE2019-23 | |
| 発行日 | 2019-10-02 (SCE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2019-23 エレソ技報アーカイブへのリンク：SCE2019-23 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2019-10-09 - 2019-10-10 |
| 開催地（和） | 東北大学・電気通信研究所 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 検出基盤技術及び応用、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2019-10-SCE |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of Nb films prepared by ultra-high vacuum sputtering system for qubit application |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | superconducting / superconducting |
| キーワード(2)（和/英） | microwave / microwave |
| キーワード(3)（和/英） | kinetic inductance / kinetic inductance |
| キーワード(4)（和/英） | Niobium / Niobium |
| キーワード(5)（和/英） | polycrystalline / polycrystalline |
| キーワード(6)（和/英） | sputtering / sputtering |
| キーワード(7)（和/英） | loss / loss |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | Wei Qiu / Wei Qiu / |
| 第1著者 所属（和/英） | National Institute of Information and Communications Technology (略称： NICT) National Institute of Information and Communications Technology (略称： NICT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | Hirotaka Terai / Hirotaka Terai / |
| 第2著者 所属（和/英） | National Institute of Information and Communications Technology (略称： NICT) National Institute of Information and Communications Technology (略称： NICT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-10-09 15:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2019-23 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.219 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-10-02 (SCE) |
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