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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2019-07-29 14:20 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価 ○天野凌輔・山川愉生（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JSTさきがけ）  US2019-31 |
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| 抄録 | （和） | 複素反射率測定法による液体試料の粘弾性評価では，基板-液体試料界面に入射するSH波の角度を大きくすることで測定感度の向上が図れる．これまで我々は基板-液体試料界面に対して斜め方向からSH波入射をするために台形柱石英ガラスを音波伝搬媒質として用いたが，垂直入射の場合に比べて熱容量が大きく温度制御が困難であった．そこで，相似形で小型な音波伝搬媒質を使用して測定を行うことで温度安定性の向上を試みた．その結果，反射係数の位相変化のばらつきが小さくなった． |
| （英） | In the complex reflection measurement of liquid/solid interface, the low angle incidence of shear horizontal (SH) wave to the interface makes it possible to increase phase shift for accurate evaluation. c-Axis tilted ScAlN piezoelectric films on the trapezoidal silica glass prism was used for oblique incidence of SH wave. In this study, the small size trapezoidal silica glass prism was employed to improve temperature control. Relatively small dispersion of phase shift of the complex reflection coefficient were confirmed. | |
| キーワード | （和） | 粘弾性センサ / 複素反射率 / ScAlN薄膜 / / / / / |
| （英） | Viscoelasticity sensor / Complex reflection coefficient / ScAlN film / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 119, no. 152, US2019-31, pp. 19-23, 2019年7月. | |
| 資料番号 | US2019-31 | |
| 発行日 | 2019-07-22 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2019-31 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2019-07-29 - 2019-07-29 |
| 開催地（和） | 北海道大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 物性、一般 (共催：日本レオロジー学会ナノレオロジー研究会) |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2019-07-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Liquid viscoelasticity characterization by the complex reflection coefficient using quasi-shear mode c-axis tilted ScAlN thin film transducers |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 粘弾性センサ / Viscoelasticity sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 複素反射率 / Complex reflection coefficient |
| キーワード(3)（和/英） | ScAlN薄膜 / ScAlN film |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天野 凌輔 / Ryosuke Amano / アマノ リョウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大/材研) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ./ZAIKEN) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山川 愉生 / Yui Yamakawa / ヤマカワ ユイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大/材研) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ./ZAIKEN) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所/JSTさきがけ (略称： 早大/材研/JSTさきがけ) Waseda University/ZAIKEN/JST-PREST (略称： Waseda Univ./ZAIKEN/JST-PREST) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2019-07-29 14:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2019-31 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | no.152 |
| ページ範囲 | pp.19-23 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2019-07-22 (US) |
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