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講演抄録/キーワード
講演名 2019-07-29 15:45
ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
宮田昌哉高柳真司松川真美同志社大)・柳谷隆彦早大
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抄録 (和) 厚みすべりモード共振子は液体中への振動エネルギー漏洩が非常に少ないため,液体粘度測定や抗原抗体反応検出へ応用することができる.これまでに我々は,スパッタリング法を用いてc軸が基板に対して平行に配向したZnO薄膜の作製し,厚みすべりモードで駆動させることに成功している.本報告ではZnO薄膜共振子を作製し,液体負荷時の周波数特性を測定した.アドミタンス実部の極大値の周波数fsとアドミタンス虚部の極大値の周波数fimの二種類のピーク周波数に注目した結果,fimは周波数変化率が大きくアドミタンスピーク値の変化率が小さいため,高感度に液体粘度を測定できると考えられる. 
(英) Thickness-shear mode resonators are applied to sensors to measure liquid viscosity and antigen-antibody reaction, because the vibration energy leakage into liquid is very small. In previous research, we have demonstrated the film growth of a c-axis parallel oriented ZnO using a sputtering deposition. The thickness-shear mode was excited with the ZnO film. In this report, a thickness-shear mode resonator with the ZnO film was fabricated. Then, frequency characteristics of the resonator with liquid loadings were measured. As a result, a large amount of the frequency shift and low attenuation of the admittance value were obtained at the frequency of maximal value in imaginary part of admittance fim compared with that in real part of admittance fs. fim is suitable for the liquid viscosity measurement.
キーワード (和) 薄膜共振子 / 厚みすべりモード / ZnO / 液体粘度 / / / /  
(英) Film bulk acoustic resonator / Thickness-shear mode / ZnO / Liquid viscosity / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 152, US2019-34, pp. 33-37, 2019年7月.
資料番号 US2019-34 
発行日 2019-07-22 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2019-07-29 - 2019-07-29 
開催地(和) 北海道大学 
開催地(英)  
テーマ(和) 物性、一般 (共催:日本レオロジー学会ナノレオロジー研究会) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2019-07-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of thickness-shear mode resonators with ZnO film and their frequency characteristics of liquid loading 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 薄膜共振子 / Film bulk acoustic resonator  
キーワード(2)(和/英) 厚みすべりモード / Thickness-shear mode  
キーワード(3)(和/英) ZnO / ZnO  
キーワード(4)(和/英) 液体粘度 / Liquid viscosity  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮田 昌哉 / Masaya Miyata / ミヤタ マサヤ
第1著者 所属(和/英) 同志社大学 (略称: 同志社大)
Doshisha University (略称: Doshisha Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / タカヤナギ シンジ
第2著者 所属(和/英) 同志社大学 (略称: 同志社大)
Doshisha University (略称: Doshisha Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 松川 真美 / Mami Matsukawa / マツカワ マミ
第3著者 所属(和/英) 同志社大学 (略称: 同志社大)
Doshisha University (略称: Doshisha Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ
第4著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
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講演者
発表日時 2019-07-29 15:45:00 
発表時間 25 
申込先研究会 US 
資料番号 IEICE-US2019-34 
巻番号(vol) IEICE-119 
号番号(no) no.152 
ページ範囲 pp.33-37 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-US-2019-07-22 


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