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講演抄録/キーワード
講演名 2019-04-18 13:25
室温原子層堆積法を用いたZnO薄膜の特性評価
吉田一樹齋藤健太郎三浦正範鹿又健作廣瀬文彦山形大
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抄録 (和) 酸化亜鉛(ZnO)は低コスト、ワイドバンドギャップ、高い可視光透過性、無毒といった特徴を持つ。このため透明導電膜、UVセンサの材料として研究されており近年ではガスバリア材料としても期待されている。我々はこれまでにジメチル亜鉛(Dimethylzinc: DMZ)とプラズマ励起加湿アルゴンを用いた原子層堆積法によってSi基板上にZnOを室温形成するプロセスを開発した。本論ではDMZ導入量を変化させることで成膜速度の改善を行った。また得られた膜を分光エリプソメトリによって分析しTauc-Lorentzモデルを用いたフィッティングを行った。その結果、波長380nm以下で光吸収係数の立ち上がりを確認しそのバンドギャップは最大で3.28eVであることが分かった。本論では得られた膜の光学特性及びその構造について議論する。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) 原子層堆積法 / プラズマ励起加湿アルゴン / 酸化亜鉛 / 分光エリプソメトリ / Tauc-Lorentzモデル / / /  
(英) atomic layer deposition / plasma excited humidified argon / zinc oxide / ellipsometry / Tauc- Lorentz / / /  
文献情報 信学技報, vol. 119, no. 9, ED2019-2, pp. 5-8, 2019年4月.
資料番号 ED2019-2 
発行日 2019-04-11 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2019-04-18 - 2019-04-18 
開催地(和) 東北大・通研 
開催地(英) RIEC, Tohoku Univ. 
テーマ(和) 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 
テーマ(英) Organic devices, oxide devices, general 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2019-04-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 室温原子層堆積法を用いたZnO薄膜の特性評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Characteristic evaluation of ZnO thin film deposit by room temperature ALD 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 原子層堆積法 / atomic layer deposition  
キーワード(2)(和/英) プラズマ励起加湿アルゴン / plasma excited humidified argon  
キーワード(3)(和/英) 酸化亜鉛 / zinc oxide  
キーワード(4)(和/英) 分光エリプソメトリ / ellipsometry  
キーワード(5)(和/英) Tauc-Lorentzモデル / Tauc- Lorentz  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 一樹 / Kazuki Yoshida / ヨシダ カズキ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 齋藤 健太郎 / Kentaro Saito / サイトウ ケンタロウ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第5著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者
発表日時 2019-04-18 13:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2019-2 
巻番号(vol) IEICE-119 
号番号(no) no.9 
ページ範囲 pp.5-8 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-ED-2019-04-11 


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