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講演抄録/キーワード
講演名 2019-03-14 10:55
感光性絶縁フィルムの円筒空洞共振器法によるミリ波複素誘電率評価に関する検討
髙萩耕平宇都宮大)・海老澤和明東京応化)・古神義則清水隆志宇都宮大
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抄録 (和) 高周波回路では、回路の小型・薄型化の需要増加に伴い、薄型試料の複素誘電率評価が必要不可欠となっている。我々は、厚さ10μm以上のフィルム試料に対し、円筒空洞共振器法が有効であることを報告してきた。本研究では、同法の試料厚さに関する測定範囲拡大のために、厚さ5~16μmの感光性絶縁フィルムに対し、36~100GHz帯において複素誘電率の周波数依存性測定を行い、その有効性を検討した。さらに、不確かさ評価を行い、薄型フィルム測定時の注意点について検討した。 
(英) It is necessary to evaluate a complex permittivity of thin dielectric samples for compact and low-profile microwave and millimeter wave device designs. We have been reported that the accurate complex permittivity measurement method for film dielectric materials with thickness of 10 μm or more by the circular empty cavity method. In order to expand the measurement range of the sample thickness, we studied on thin film complex permittivity measurement for 5 films of a photosensitive insulator with different thickness from 5 to 16 μm using the 36GHz, 50GHz, 80GHz, and 100GHz band circular cavity resonators. Furthermore, we performed the uncertainty analysis and found out the important points for thin film measurements.
キーワード (和) 感光性絶縁材料 / 複素誘電率 / 不確かさ / 円筒空洞共振器法 / ミリ波 / / /  
(英) Photosensitive insulator / Complex permittivity / Uncertainty / Circular empty cavity method / Millimeter wave / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 506, MW2018-158, pp. 13-18, 2019年3月.
資料番号 MW2018-158 
発行日 2019-03-07 (MW, ICD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 MW ICD  
開催期間 2019-03-14 - 2019-03-15 
開催地(和) 大濱信泉記念館(石垣島) 
開催地(英)  
テーマ(和) マイクロ波集積回路/マイクロ波一般 
テーマ(英) Microwave Integrated Circuit/Microwave Technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MW 
会議コード 2019-03-MW-ICD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 感光性絶縁フィルムの円筒空洞共振器法によるミリ波複素誘電率評価に関する検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A study on millimeter wave complex permittivity evaluations by the circular empty cavity method for photosensitive insulator 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 感光性絶縁材料 / Photosensitive insulator  
キーワード(2)(和/英) 複素誘電率 / Complex permittivity  
キーワード(3)(和/英) 不確かさ / Uncertainty  
キーワード(4)(和/英) 円筒空洞共振器法 / Circular empty cavity method  
キーワード(5)(和/英) ミリ波 / Millimeter wave  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 髙萩 耕平 / Kouhei Takahagi / タカハギ コウヘイ
第1著者 所属(和/英) 宇都宮大学 (略称: 宇都宮大)
Utsunomiya University (略称: Utsunomiya Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 海老澤 和明 / Kazuaki Ebisawa / エビサワ カズアキ
第2著者 所属(和/英) 東京応化工業株式会社 (略称: 東京応化)
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. (略称: TOK)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 古神 義則 / Yoshinori Kogami / コガミ ヨシノリ
第3著者 所属(和/英) 宇都宮大学 (略称: 宇都宮大)
Utsunomiya University (略称: Utsunomiya Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 清水 隆志 / Takashi Shimizu / シミズ タカシ
第4著者 所属(和/英) 宇都宮大学 (略称: 宇都宮大)
Utsunomiya University (略称: Utsunomiya Univ.)
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講演者
発表日時 2019-03-14 10:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 MW 
資料番号 IEICE-MW2018-158,IEICE-ICD2018-102 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.506(MW), no.507(ICD) 
ページ範囲 pp.13-18 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-MW-2019-03-07,IEICE-ICD-2019-03-07 


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