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講演抄録/キーワード
講演名 2019-03-01 09:45
原子層堆積法を用いたフレキシブル無機ELデバイスの長寿命化
石川 誠三浦正範吉田一樹鹿又健作有馬 ボシール アハンマド久保田 繁廣瀬文彦山形大)   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 (和) 無機ELは軽くて薄い面発光デバイスであり広告や照明への応用が期待されているが、発光材料であるZnS蛍光粒子が水分に弱く寿命が短いということが課題となっている。本研究ではZnS粒子の表面に酸化アルミニウムの耐湿コーティング膜を形成し、無機ELデバイスの長寿命化を図る。まず、粒子への製膜が可能な室温原子層堆積装置を開発し製膜試験を行った。Si基板上で酸化アルミニウムの形成を確認し、その成長速度は0.19nm/cycleであった。構築した装置で製膜を行ったZnS粒子を用いて無機ELデバイスを作製し、耐久試験を行って長寿命化の検証を行った。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) 原子層堆積法 / 無機EL / ZnS粒子 / プラズマ励起加湿アルゴン / アルミナ / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 461, CPM2018-115, pp. 61-65, 2019年2月.
資料番号 CPM2018-115 
発行日 2019-02-21 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2019-02-28 - 2019-03-01 
開催地(和) 電通大 
開催地(英)  
テーマ(和) 若手ミーティング 
テーマ(英) Young Researcher's Conference 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2019-02-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 原子層堆積法を用いたフレキシブル無機ELデバイスの長寿命化 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Extension of life time of flexible inorganic EL device with atomic layer deposition. 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 原子層堆積法 /  
キーワード(2)(和/英) 無機EL /  
キーワード(3)(和/英) ZnS粒子 /  
キーワード(4)(和/英) プラズマ励起加湿アルゴン /  
キーワード(5)(和/英) アルミナ /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 石川 誠 / Makoto Ishikawa / イシカワ マコト
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 一樹 / Kazuki Yoshida / ヨシダ カズキ
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 有馬 ボシール アハンマド / Bashir Ahmmad Arima / アリマ ボシール アハンマド
第5著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル
第6著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第7著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者
発表日時 2019-03-01 09:45:00 
発表時間 15 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2018-115 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.461 
ページ範囲 pp.61-65 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-CPM-2019-02-21 


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