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講演抄録/キーワード
講演名 2019-02-28 16:35
分光法と新規デバイスの開発
木村康男東京工科大CPM2018-112 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2018-112
抄録 (和) デバイスの動作機構を解明し、その特性に影響を及ぼしている現象を把握することは大変たいせつである。それをもとに、デバイスが改良されたり、新規デバイスが考案されたりする。分光法は、これらを調べる大変強力なツールである。これまで主にラマン分光法や赤外分光法により材料の形成機構やデバイスの動作機構を調べる研究を行いながら、トップダウンプロセスとボトムアッププロセスとを組み合わせたハイブリッドプロセスである局所陽極酸化法を提案し、それを用いて単電子トランジスタやマイクロガスセンサなどのデバイスの開発を行ってきた。本稿では、分光学的な評価方法や新規デバイス開発について著者の経験を紹介する。 
(英) It is important to understand the operation mechanism of devices and phenomena which influence device performance. Based on the information and knowledge, the devices are improved and novel devices are proposed. I have investigated the formation mechanism of materials and the operation mechanism of devices using infrared spectroscopy and Raman spectroscopy and I have developed the local anodization method of hybrid process between top-down and bottom-up ones to fabricate electronic devices such as single electron transistors micro gas sensors. I describe my experience in development of characterization methods and novel devices.
キーワード (和) 赤外分光法 / ラマン分光法 / 結晶成長 / 陽極酸化 / マイクロガスセンサ / / /  
(英) infrared spectroscopy / Raman spectroscopy / crystal growth / anodization / micro gas sensor / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 461, CPM2018-112, pp. 49-52, 2019年2月.
資料番号 CPM2018-112 
発行日 2019-02-21 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2018-112 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2018-112

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2019-02-28 - 2019-03-01 
開催地(和) 電通大 
開催地(英)  
テーマ(和) 若手ミーティング 
テーマ(英) Young Researcher's Conference 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2019-02-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 分光法と新規デバイスの開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Spectroscopy and development of novel devices 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 赤外分光法 / infrared spectroscopy  
キーワード(2)(和/英) ラマン分光法 / Raman spectroscopy  
キーワード(3)(和/英) 結晶成長 / crystal growth  
キーワード(4)(和/英) 陽極酸化 / anodization  
キーワード(5)(和/英) マイクロガスセンサ / micro gas sensor  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 木村 康男 / Yasuo Kimura / キムラ ヤスオ
第1著者 所属(和/英) 東京工科大学 (略称: 東京工科大)
Tokyo University of Technology (略称: TUT)
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講演者 第1著者 
発表日時 2019-02-28 16:35:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2018-112 
巻番号(vol) vol.118 
号番号(no) no.461 
ページ範囲 pp.49-52 
ページ数
発行日 2019-02-21 (CPM) 


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