講演抄録/キーワード |
講演名 |
2019-02-28 16:35
分光法と新規デバイスの開発 ○木村康男(東京工科大) CPM2018-112 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2018-112 |
抄録 |
(和) |
デバイスの動作機構を解明し、その特性に影響を及ぼしている現象を把握することは大変たいせつである。それをもとに、デバイスが改良されたり、新規デバイスが考案されたりする。分光法は、これらを調べる大変強力なツールである。これまで主にラマン分光法や赤外分光法により材料の形成機構やデバイスの動作機構を調べる研究を行いながら、トップダウンプロセスとボトムアッププロセスとを組み合わせたハイブリッドプロセスである局所陽極酸化法を提案し、それを用いて単電子トランジスタやマイクロガスセンサなどのデバイスの開発を行ってきた。本稿では、分光学的な評価方法や新規デバイス開発について著者の経験を紹介する。 |
(英) |
It is important to understand the operation mechanism of devices and phenomena which influence device performance. Based on the information and knowledge, the devices are improved and novel devices are proposed. I have investigated the formation mechanism of materials and the operation mechanism of devices using infrared spectroscopy and Raman spectroscopy and I have developed the local anodization method of hybrid process between top-down and bottom-up ones to fabricate electronic devices such as single electron transistors micro gas sensors. I describe my experience in development of characterization methods and novel devices. |
キーワード |
(和) |
赤外分光法 / ラマン分光法 / 結晶成長 / 陽極酸化 / マイクロガスセンサ / / / |
(英) |
infrared spectroscopy / Raman spectroscopy / crystal growth / anodization / micro gas sensor / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 461, CPM2018-112, pp. 49-52, 2019年2月. |
資料番号 |
CPM2018-112 |
発行日 |
2019-02-21 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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