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講演抄録/キーワード
講演名 2019-02-28 14:40
電子顕微鏡を利用した塗布型磁性ガーネット膜の表面観察
中筋大樹船木佑也嶋本紘己板谷年也鈴鹿高専)・西本光佑中村雄一内田裕久豊橋技科大)・橋本良介鈴鹿高専
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抄録 (和) 磁気光学イメージングは高空間分解能な非破壊検査手法として着目されている.しかし,先行研究ではセンサの材料である磁性ガーネット薄膜をスパッタ法により成膜していたため,成膜後に700℃程度の温度で結晶化熱処理が必要であった.したがって,成膜基板には耐熱性に優れる単結晶基板を利用していたため,センサのフレキシブル化が難しいという課題がある.本研究は,フレキシブルなセンサの作製手法として塗布法に着目し,ある程度の曲率を有する強磁性金属表面の磁気光学イメージングのためのセンサを開発することが目的である.本発表では,塗布したセンサ膜の表面を,電子顕微鏡を用いて観察した結果について報告する. 
(英) Magneto-optical (MO) imaging is a useful non-destructive testing method that can visualize defect two-dimensionally with high spatial resolution. However, in our previous work, crystalized annealing at the temperature of approximately 700 degree was necessary after sputtering because a MO sensor was deposited by the ion beam sputtering method. Therefore, it was not able to deal with the curved surface of measuring objects, i.e. the testing was limited to the flat surface of that. In this study, we focused on the spin-on prosecco in order to deposit magnetic iron garnet film on the flexible substrate, and we observed surface conditions of prepared film using by the scanning electron microscope.
キーワード (和) 磁気光学効果 / 磁気光学イメージング / 磁性ガーネット / 非破壊検査 / / / /  
(英) Magneto-ptical effect / Magneto-optical imaging / Magnetic iron garnet / Non-destructive testing / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 461, CPM2018-106, pp. 23-25, 2019年2月.
資料番号 CPM2018-106 
発行日 2019-02-21 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2019-02-28 - 2019-03-01 
開催地(和) 電通大 
開催地(英)  
テーマ(和) 若手ミーティング 
テーマ(英) Young Researcher's Conference 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2019-02-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 電子顕微鏡を利用した塗布型磁性ガーネット膜の表面観察 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Surface observation of coating iron garnet film using by the Scanning Electron Microscope 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 磁気光学効果 / Magneto-ptical effect  
キーワード(2)(和/英) 磁気光学イメージング / Magneto-optical imaging  
キーワード(3)(和/英) 磁性ガーネット / Magnetic iron garnet  
キーワード(4)(和/英) 非破壊検査 / Non-destructive testing  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 中筋 大樹 / Daiki Nakasuji / ナカスジ ダイキ
第1著者 所属(和/英) 鈴鹿工業高等専門学校 (略称: 鈴鹿高専)
National Institute of Technology, Suzuka College (略称: SNIT)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 船木 佑也 / Yuya Funaki / フナキ ユウヤ
第2著者 所属(和/英) 鈴鹿工業高等専門学校 (略称: 鈴鹿高専)
National Institute of Technology, Suzuka College (略称: SNIT)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 嶋本 紘己 / Hiroki Shimamoto / シマモト ヒロキ
第3著者 所属(和/英) 鈴鹿工業高等専門学校 (略称: 鈴鹿高専)
National Institute of Technology, Suzuka College (略称: SNIT)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 板谷 年也 / Toshiya Itaya / イタヤ トシヤ
第4著者 所属(和/英) 鈴鹿工業高等専門学校 (略称: 鈴鹿高専)
National Institute of Technology, Suzuka College (略称: SNIT)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 西本 光佑 / Kousuke Nishimoto / ニシモト コウスケ
第5著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中村 雄一 / Yuichi Nakamura / ナカムラ ユウイチ
第6著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 内田 裕久 / Hironaga Uchida / ウチダ ヒロナガ
第7著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: TUT)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 良介 / Ryosuke Hashimoto / ハシモト リョウスケ
第8著者 所属(和/英) 鈴鹿工業高等専門学校 (略称: 鈴鹿高専)
National Institute of Technology, Suzuka College (略称: SNIT)
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講演者
発表日時 2019-02-28 14:40:00 
発表時間 15 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2018-106 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.461 
ページ範囲 pp.23-25 
ページ数 IEICE-3 
発行日 IEICE-CPM-2019-02-21 


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