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講演抄録/キーワード
講演名 2018-12-06 17:10
III-V/Siハイブリッド光集積回路に向けたチップオンウェーハプラズマ活性化接合の検討
白 柳東工大)・菊地健彦住友電工)・御手洗拓矢西山伸彦東工大)・八木英樹住友電工)・雨宮智宏荒井滋久東工大OPE2018-127 LQE2018-137 SIPH2018-43
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
(英) (Not available yet)
キーワード (和) ハイブリッド / 光集積回路 / チップオンウェーハ / プラズマ活性化接合 / フォトルミネッセンス / 応力 / /  
(英) Hybrid / Photonic Integrated Circuits / Chip-on-Wafer / Plasma Activated Bonding / photoluminescence / stress / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 348, OPE2018-127, pp. 149-153, 2018年12月.
資料番号 OPE2018-127 
発行日 2018-11-29 (OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード OPE2018-127 LQE2018-137 SIPH2018-43

研究会情報
研究会 LQE OPE SIPH  
開催期間 2018-12-06 - 2018-12-07 
開催地(和) 慶應義塾大学 
開催地(英) Keio University 
テーマ(和) Photonic Device Workshop (半導体レーザ関連技術, パッシブデバイス技術, シリコンフォトニクス) 
テーマ(英) Photonic Device Workshop 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2018-12-LQE-OPE-SIPH 
本文の言語 英語(日本語タイトルあり) 
タイトル(和) III-V/Siハイブリッド光集積回路に向けたチップオンウェーハプラズマ活性化接合の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Examination of Chip-on-Wafer Plasma Activated Bonding Technology for III-V on Si hybrid Photonic Integrated Circuits 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ハイブリッド / Hybrid  
キーワード(2)(和/英) 光集積回路 / Photonic Integrated Circuits  
キーワード(3)(和/英) チップオンウェーハ / Chip-on-Wafer  
キーワード(4)(和/英) プラズマ活性化接合 / Plasma Activated Bonding  
キーワード(5)(和/英) フォトルミネッセンス / photoluminescence  
キーワード(6)(和/英) 応力 / stress  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 白 柳 / LIU BAI /
第1著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Tech)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 菊地 健彦 / Takehiko Kikuchi / キクチ タケヒコ
第2著者 所属(和/英) 住友電気工業株式会社 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd (略称: SEI)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 御手洗 拓矢 / Takuya Mitarai / ミタライ タクヤ
第3著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Tech)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 西山 伸彦 / Nobuhiko Nishiyama / ニシヤマ ノブヒコ
第4著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Tech)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 八木 英樹 / Hideki Yagi / ヤギ ヒデキ
第5著者 所属(和/英) 住友電気工業株式会社 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd (略称: SEI)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 雨宮 智宏 / Tomohiro Amemiya / アメミヤ トモヒロ
第6著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Tech)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒井 滋久 / Shigehisa Arai / アライ シゲヒサ
第7著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Tech)
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講演者
発表日時 2018-12-06 17:10:00 
発表時間 80 
申込先研究会 OPE 
資料番号 IEICE-OPE2018-127,IEICE-LQE2018-137,IEICE-SIPH2018-43 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.348(OPE), no.349(LQE) 
ページ範囲 pp.149-153 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-OPE-2018-11-29,IEICE-LQE-2018-11-29 


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