講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-11-29 15:40
ALD法を用いたフレキシブルフィルム上へのゼオライト薄膜の試作とイオン吸着特性評価 ○森 義晴・野口雄祐・鹿又健作・三浦正範・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦(山形大) ED2018-38 CPM2018-72 LQE2018-92 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2018-38 CPM2018-72 LQE2018-92 |
抄録 |
(和) |
近年ゼオライトは薄膜化により新分野への応用研究進んでいる。一般にゼオライト薄膜の成膜は水熱合成法が用いられる。我々はTris[dimethylamino]silane (TDMAS)、Trimethylaluminium (TMA)の二つの原料ガスとプラズマ励起加湿Arを用いて室温ALD法による成膜を確立した。本手法によりフレキシブルフィルムへのゼオライト薄膜の成膜を行い、アルミナシリカの特性を実証した。本結果により、ゼオライトをイオンセンサーやバイオセンサーといった電子デバイスへの応用の可能性を大きく広げた。更に、2種類の原料ガスを用いた室温原子層堆積を多重内部反射赤外吸収分光法によって評価し、その反応機構を調査した。 |
(英) |
(Not available yet) |
キーワード |
(和) |
原子層堆積法 / ゼオライト / アルミナ / シリカ / プラズマ励起加湿アルゴン / / / |
(英) |
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文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 331, CPM2018-72, pp. 27-30, 2018年11月. |
資料番号 |
CPM2018-72 |
発行日 |
2018-11-22 (ED, CPM, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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