講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-11-02 15:20
石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜 ○篁 佑太(同志社大)・高柳真司(名工大)・松川真美(同志社大)・柳谷隆彦(早大) US2018-68 |
抄録 |
(和) |
弾性波の一つであるSH型SAWは,液体へのエネルギー漏洩が少なく,液体の粘度や導電率,誘電率を測定可能である.一方,高感度な弾性波センサを実現する手法として音波の多重周回がある.我々は,石英ガラス管側面の一部にスパッタ法を用いてc軸平行配向ZnO薄膜を成膜することで, SH型バルク波の周回に成功した.しかし,SH型SAWを周回させるためには,石英ガラス管側面全体にZnO薄膜を成膜する必要がある.そこで本研究では,石英ガラス管基板の側面全体に均一なZnO薄膜を形成することを目的として,基板を回転させながらc軸平行配向ZnO薄膜の成膜を試みた.その結果,低い放電電力および低速での基板回転により,石英ガラス管基板の側面全体に均一なc軸平行配向ZnO薄膜が形成された.これらの結果から成膜速度を詳細に検討することで,結晶配向性の良いc軸平行配向ZnO薄膜を側面全体に形成することが期待される. |
(英) |
SH type SAW sensor can measure the viscosity, conductivity and permittivity of a liquid because it propagate to liquid / solid interface with the small leakage to liquid. One approach for highly sensitive sensor is multiple roundtrips of acoustic wave. We succeeded in observation of multiple roundtrips of SH type bulk wave using c-axis parallel oriented ZnO film on a part of the silica glass pipe. However, SH type SAW roundtrips were not observed because the ZnO film was not grown on the entire surface of the pipe. In this study, we demonstrated the pipe-surface deposition of the c-axis parallel oriented ZnO film by a substrate rotation system for the uniform film growth on the entire pipe surface. As a result, a uniform c-axis parallel oriented ZnO film on the entire surface of the silica glass pipe was obtained by decreasing the sputtering power and the substrate rotation speed. |
キーワード |
(和) |
c軸平行配向ZnO薄膜 / 円管基板 / スパッタ成膜 / SH波 / / / / |
(英) |
c-Axis parallel oriented ZnO film / Pipe substrate / Sputtering deposition / SH wave / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 277, US2018-68, pp. 25-30, 2018年11月. |
資料番号 |
US2018-68 |
発行日 |
2018-10-26 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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US2018-68 |