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講演抄録/キーワード
講演名 2018-11-01 14:25
室温ZnO ALDの表面反応観察
吉田一樹齋藤健太郎三浦正範鹿又健作廣瀬文彦山形大CPM2018-44
抄録 (和) 酸化亜鉛(Zinc oxide: ZnO)は可視光域での高透過率、低抵抗、無毒の特徴を持つ。このため透明導電膜、UV-LED、ガスセンサ、圧電素子材料として研究されている。近年ではガスバリア材料としても期待されている。我々はジメチル亜鉛(Dimethylzinc: DMZ)とプラズマ励起加湿アルゴンを用いた原子層堆積法によって、Si基板表面にZnOを室温で形成した。成膜時の反応を多重内部反射型赤外吸収分光法(MIR-IRAS)によってその場観察することで成膜プロセスの検討を行った。得られた薄膜をXPSで分析した結果、ZnOの存在を確認した。またこのときの成長膜厚は0.046 nm/cycleであった。本論では表面反応機構について議論する。 
(英) (Available after conference date)
キーワード (和) 原子層堆積法 / プラズマ励起加湿アルゴン / ZnO / 赤外吸収分光法 / ジメチル亜鉛 / / /  
(英) / / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 276, CPM2018-44, pp. 15-19, 2018年11月.
資料番号 CPM2018-44 
発行日 2018-10-25 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2018-44

研究会情報
研究会 CPM IEE-MAG  
開催期間 2018-11-01 - 2018-11-02 
開催地(和) まちなかキャンパス長岡 
開催地(英) Machinaka campus Nagaoka 
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般 
テーマ(英) Functional materials (semiconductors, magnetic materials, dielectric materials, transparent conductors, semiconductors, etc.) Thin film processes / materials / devices, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2018-11-CPM-MAG 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 室温ZnO ALDの表面反応観察 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Observation of surface reaction in room temperature zinc oxide ALD 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 原子層堆積法 /  
キーワード(2)(和/英) プラズマ励起加湿アルゴン /  
キーワード(3)(和/英) ZnO /  
キーワード(4)(和/英) 赤外吸収分光法 /  
キーワード(5)(和/英) ジメチル亜鉛 /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 一樹 / Kazuki Yoshida / ヨシダ カズキ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 齋藤 健太郎 / Kentaro Saito / サイトウ ケンタロウ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第5著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者
発表日時 2018-11-01 14:25:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2018-44 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.276 
ページ範囲 pp.15-19 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-CPM-2018-10-25 


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