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講演抄録/キーワード
講演名 2018-10-19 11:35
60GHz帯シリコンCMOSオンチップダイポールアンテナのシリコン貫通ビアによる損失低減の一検討
平野拓一東京都市大
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抄録 (和) ミリ波帯においては、アンテナが小型になるため、近年開発が進んでいるCMOSチップに一体化して作成するオンチップアンテナが有望である。オンチップアンテナを用いることの長所として、外部パッケージや基板との接続に苦労する必要がない。短所としてはシリコン基板による損失が非常に大きいので、放射効率が非常に低いという問題がある。シリコン基板による損失はHeイオンやプロトンの照射により、低減可能であることが確認されている。しかし、イオン照射できないFETを含む回路が周囲にあるため、一部のみイオン照射が行われる。そのような場合に、シリコンチップの限られた領域のみ損失を低減できるので、損失の大きなエリアに電磁界が侵入するのを阻止する必要がある。本稿では、さらに放射効率を改善するために、シリコン貫通ビア(TSV)を用いて電磁界のシリコン基板への侵入を防ぐ検討を行った。 
(英) 60 GHz CMOS on-chip antenna is low radiation efficiency due to large loss of silicon (Si) substrate. It is reported that loss due to lossy silicon substrate can be reduced by helium-3 ion irradiation. There are active devices and well (P-well or N-well) on the surface of the silicon substrate. To reduce loss due to well, we have introduced through-silicon via (TSV) and characteristics are analyze.
キーワード (和) ミリ波 / オンチップアンテナ / ダイポールアンテナ / CMOS / シリコン貫通電極 / イオン照射 / 放射効率 / ウェル  
(英) Millimeter-wave / On-chip antenna / Dipole antenna / CMOS / TSV / Ion irradiation / Radiation efficiency / Well  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 248, MW2018-87, pp. 105-109, 2018年10月.
資料番号 MW2018-87 
発行日 2018-10-11 (EMCJ, MW, EST) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 EST MW EMCJ IEE-EMC  
開催期間 2018-10-18 - 2018-10-19 
開催地(和) 八戸商工会館(青森県八戸市) 
開催地(英) Hachinohe Chamber of Commerce and Industry(Hachinohe city, Aomori) 
テーマ(和) シミュレーション技術・EMC、マイクロ波、電磁界シミュレーション、一般 
テーマ(英) Simulation techniques, EMC, Microwave, Electromagnetic field simulation, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 MW 
会議コード 2018-10-EST-MW-EMCJ-EMC 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 60GHz帯シリコンCMOSオンチップダイポールアンテナのシリコン貫通ビアによる損失低減の一検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A Study of Loss Reduction in 60 GHz Band Silicon CMOS On-Chip Dipole Antenna using TSV 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ミリ波 / Millimeter-wave  
キーワード(2)(和/英) オンチップアンテナ / On-chip antenna  
キーワード(3)(和/英) ダイポールアンテナ / Dipole antenna  
キーワード(4)(和/英) CMOS / CMOS  
キーワード(5)(和/英) シリコン貫通電極 / TSV  
キーワード(6)(和/英) イオン照射 / Ion irradiation  
キーワード(7)(和/英) 放射効率 / Radiation efficiency  
キーワード(8)(和/英) ウェル / Well  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 平野 拓一 / Takuichi Hirano / ヒラノ タクイチ
第1著者 所属(和/英) 東京都市大学 (略称: 東京都市大)
Tokyo City University (略称: Tokyo City Univ.)
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講演者
発表日時 2018-10-19 11:35:00 
発表時間 25 
申込先研究会 MW 
資料番号 IEICE-EMCJ2018-51,IEICE-MW2018-87,IEICE-EST2018-73 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.247(EMCJ), no.248(MW), no.249(EST) 
ページ範囲 pp.105-109 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-EMCJ-2018-10-11,IEICE-MW-2018-10-11,IEICE-EST-2018-10-11 


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