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講演抄録/キーワード
講演名 2018-10-19 15:05
多層パーセプトロンによる多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定における次元数に関する検討
工藤博章松本哲也名大)・沓掛健太朗理研)・宇佐美徳隆名大
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抄録 (和) 多結晶シリコンウェハのPL像に対して,ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った.多層パーセプトロン(MLP)によるニューラルネットワークの学習を行うことにより転位領域を含む領域であるか否かを識別する手法について検討を行った.隠れ層の第1層の素子数を変化させた時のネットワークの出力の性能について検討を行った.1枚のウェハと3枚のウェハを用いた学習を比較したところ,3枚のウェハを用い,3層で10程度の素子数での構成での性能が高い結果が得られた. 
(英) In this report, we studied a specified method of regions including dislocations which are crystallographic defects in a photoluminescence (PL) image of multicrystalline silicon wafers. We utilized a neural network of multilayer perceptron (MLP) to classify fragmented region in the wafer image to a region including dislocation or not. We examined effects in network's output depending on changes in the numbers of elements of the first hidden layer. In the comparison of conditions using 1 wafer image or 3 wafer images,
we obtained results that the network composed 3 hidden layers and the first hidden layer has about 10 elements with 3 wafers images shows good performance.
キーワード (和) 多結晶シリコン / PL像 / 転位 / 多層パーセプトロン / / / /  
(英) multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation / multilayer perceptron / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 256, IMQ2018-14, pp. 19-24, 2018年10月.
資料番号 IMQ2018-14 
発行日 2018-10-12 (IMQ) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 IMQ  
開催期間 2018-10-19 - 2018-10-19 
開催地(和) 京都工芸繊維大学 
開催地(英) Kyoto Institute of Technology 
テーマ(和) 視覚とIMQ一般 
テーマ(英) Visual Perception and IMQ 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IMQ 
会議コード 2018-10-IMQ 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 多層パーセプトロンによる多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定における次元数に関する検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Examination of dimensionality of multilayer perceptron estimating dislocation regions in multicrystalline silicon photoluminescence image 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 多結晶シリコン / multicrystalline silicon  
キーワード(2)(和/英) PL像 / photoluminescence image  
キーワード(3)(和/英) 転位 / dislocation  
キーワード(4)(和/英) 多層パーセプトロン / multilayer perceptron  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 工藤 博章 / Hiroaki Kudo / クドウ ヒロアキ
第1著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto / マツモト テツヤ
第2著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ
第3著者 所属(和/英) 理化学研究所 (略称: 理研)
RIKEN (略称: RIKEN)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami / ウサミ ノリタカ
第4著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
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講演者
発表日時 2018-10-19 15:05:00 
発表時間 25 
申込先研究会 IMQ 
資料番号 IEICE-IMQ2018-14 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.256 
ページ範囲 pp.19-24 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-IMQ-2018-10-12 


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