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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-10-04 12:40 c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価 ○山川愉生・五月女 巧・唐澤 嶺・柳谷隆彦（早大）  US2018-53 |
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| 抄録 | （和） | 水晶振動子（QCM: Quartz Crystal Microbalance）を用いた液体の粘度評価において、測定感度を向上させるためには水晶板の薄片化が求められるが、機械強度の低下につながる。音響多層膜共振子（SMR: Solidly Mounted Resonator）を用いることで機械強度を損なわない高感度測定が期待できるが、これまでの研究報告では圧電薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数k’152がおよそ1.7%とさほど高くない。そこで我々は、c軸傾斜ScAlN（傾斜角度: 48°）を用いた音響多層膜共振子を作製し、液体粘性の評価を試みた。結果、縦波が十分抑制され、k’15^2 = 13.0%と高品質なScAlN薄膜の作製に成功した。さらに、グリセリン水溶液の濃度変化に伴う反共振周波数ピークの変化が観測された。 |
| （英） | In the fluid viscosity evaluation based on the QCM (Quartz Crystal Microbalance), the quartz crystal plate is required to be thinned to improve the measurement sensitivity. The QCM, however, becomes to be fragile due to thinning. Sensitive measurement without cracking of the piezoelectric layer can be expected by using the SMR (Solidly Mounted Resonator). In the previous study, however, the quasi-shear mode electromechanical coupling k’15 was only 1.7%. Therefore, we propose the fluid viscosity evaluation with the SMR based on the c-axis tilted ScAlN thin film. k’15^2 of the 48° c-axis tilted ScAlN film is determined as 13.0%. In addition, anti-resonant frequency shifts with changing in glycerin concentration were observed. | |
| キーワード | （和） | 粘度センサ / ScAlN薄膜 / TSM / QCM / / / / |
| （英） | Viscosity sensor / ScAlN film / TSM / QCM / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29, 2018年10月. | |
| 資料番号 | US2018-53 | |
| 発行日 | 2018-09-27 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2018-53 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2018-10-04 - 2018-10-04 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般(共催：東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会) |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2018-10-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of fluid viscosity in the ultrahigh frequency range using quasi-shear mode c-axis tilted ScAlN thin film resonators |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 粘度センサ / Viscosity sensor |
| キーワード(2)（和/英） | ScAlN薄膜 / ScAlN film |
| キーワード(3)（和/英） | TSM / TSM |
| キーワード(4)（和/英） | QCM / QCM |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山川 愉生 / Yui Yamakawa / ヤマカワ ユイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 五月女 巧 / Takumi Soutome / ソウトメ タクミ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 唐澤 嶺 / Rei Karasawa / カラサワ レイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-10-04 12:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2018-53 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.229 |
| ページ範囲 | pp.25-29 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2018-09-27 (US) |
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