講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-08-09 15:45
大型室温原子層堆積装置の開発と耐腐食コーティングへの応用 ○廣瀬文彦(山形大) CPM2018-11 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2018-11 |
抄録 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 179, CPM2018-11, pp. 17-20, 2018年8月. |
資料番号 |
CPM2018-11 |
発行日 |
2018-08-02 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
CPM2018-11 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2018-11 |
研究会情報 |
研究会 |
CPM |
開催期間 |
2018-08-09 - 2018-08-10 |
開催地(和) |
弘前大学文京町地区キャンパス |
開催地(英) |
Hirosaki Univ. |
テーマ(和) |
電子部品・材料、一般 |
テーマ(英) |
Component Parts and Materials, etc. |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
CPM |
会議コード |
2018-08-CPM |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
大型室温原子層堆積装置の開発と耐腐食コーティングへの応用 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Developement of production-scale atomic layer deposition and its application for anticorrosion coating |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / |
第1著者 所属(和/英) |
山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2018-08-09 15:45:00 |
発表時間 |
20分 |
申込先研究会 |
CPM |
資料番号 |
CPM2018-11 |
巻番号(vol) |
vol.118 |
号番号(no) |
no.179 |
ページ範囲 |
pp.17-20 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2018-08-02 (CPM) |
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