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講演抄録/キーワード
講演名 2018-06-15 15:25
SIM型SADPのための環状の配線経路を求める手法
赤塚 駿藤吉邦洋東京農工大
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抄録 (和) 高密度なLSI製造のために、光リソグラフィの露光限界を超えて微細な加工を行う技術として用いられるダブルパターニングの種類の中で、微細加工が更に進むと有用になるのではと考えられているSpacer-Is-Metal (SIM)型Self-Aligned Double Patterning (SADP)の配線は、環状の経路から切り出したものでなければならないため、分岐ができず、設計が非常に難しい。本稿では、この問題に対して特定の条件を満たした入力なら必ず配線経路を求めることができる手法を提案し、更に複雑な場合への拡張を考える。 
(英) Wires of Spacer-Is-Metal (SIM) type Self-Aligned Double Patterning (SADP) is peculiar since wires is circular when dummy wires are appended. Therefore any wire cannot be branched and the design of such wires is very difficult. We revealed a sufficient condition for the existence of routing for interconnection requirements. We proposed a routing algorithm for interconnection requirements which satisfy the condition. Finally, we relax the sufficient condition.
キーワード (和) ダブルパターニング / SADP / SIM型SADP / 十分条件 / / / /  
(英) Double Patterning / SADP / Spacer-Is-Metal type SADP / Sufficient condition / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 83, VLD2018-33, pp. 155-160, 2018年6月.
資料番号 VLD2018-33 
発行日 2018-06-07 (CAS, VLD, SIP, MSS) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 CAS SIP MSS VLD  
開催期間 2018-06-14 - 2018-06-15 
開催地(和) 北海道大学フロンティア応用科学研究棟 
開催地(英) Hokkaido Univ. (Frontier Research in Applied Sciences Build.) 
テーマ(和) システムと信号処理および一般 
テーマ(英) System and Signal Processing, etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 VLD 
会議コード 2018-06-CAS-SIP-MSS-VLD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) SIM型SADPのための環状の配線経路を求める手法 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Routing Algorithm to Achieve Circular Wire for SIM-Type SADP 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ダブルパターニング / Double Patterning  
キーワード(2)(和/英) SADP / SADP  
キーワード(3)(和/英) SIM型SADP / Spacer-Is-Metal type SADP  
キーワード(4)(和/英) 十分条件 / Sufficient condition  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 赤塚 駿 / Shun Akatsuka / アカツカ シュン
第1著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi / フジヨシ クニヒロ
第2著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT)
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講演者
発表日時 2018-06-15 15:25:00 
発表時間 20 
申込先研究会 VLD 
資料番号 IEICE-CAS2018-30,IEICE-VLD2018-33,IEICE-SIP2018-50,IEICE-MSS2018-30 
巻番号(vol) IEICE-118 
号番号(no) no.82(CAS), no.83(VLD), no.84(SIP), no.85(MSS) 
ページ範囲 pp.155-160 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-CAS-2018-06-07,IEICE-VLD-2018-06-07,IEICE-SIP-2018-06-07,IEICE-MSS-2018-06-07 


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