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講演抄録/キーワード
講演名 2018-03-08 13:00
室温原子層堆積法とその応用
廣瀬文彦山形大
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文献情報 信学技報, vol. 117, no. 497, CPM2017-136, pp. 1-4, 2018年3月.
資料番号 CPM2017-136 
発行日 2018-03-01 (EMD, MR, SCE, EID, ED, CPM, SDM, ICD, OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 CPM ED EID SDM ICD MRIS QIT SCE 
開催期間 2018-03-08 - 2018-03-08 
開催地(和) 東レ総合研修センター 
開催地(英)  
テーマ(和) 回路デバイス境界技術領域合同研究会 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2018-03-CPM-ED-EID-SDM-ICD-MRIS-QIT-SCE-OME-EMD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 室温原子層堆積法とその応用 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Room temperature atomic layer depsoition and its application 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者
発表日時 2018-03-08 13:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-EMD2017-71,IEICE-MR2017-42,IEICE-SCE2017-42,IEICE-EID2017-44,IEICE-ED2017-116,IEICE-CPM2017-136,IEICE-SDM2017-116,IEICE-ICD2017-121,IEICE-OME2017-65 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.492(EMD), no.493(MR), no.494(SCE), no.495(EID), no.496(ED), no.497(CPM), no.498(SDM), no.499(ICD), no.500(OME) 
ページ範囲 pp.1-4 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-EMD-2018-03-01,IEICE-MR-2018-03-01,IEICE-SCE-2018-03-01,IEICE-EID-2018-03-01,IEICE-ED-2018-03-01,IEICE-CPM-2018-03-01,IEICE-SDM-2018-03-01,IEICE-ICD-2018-03-01,IEICE-OME-2018-03-01 


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