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講演抄録/キーワード
講演名 2018-02-08 13:10
[招待講演]ウェハボンディング技術における接合界面への絶縁膜中水分の影響とSiCN膜による抑制効果
手谷道成森永泰規浜田政一竹内雅彦宇家眞司矢野 尚佐藤直昭松本 晋パナソニック・タワージャズセミコンダクターSDM2017-99
抄録 (和) (まだ登録されていません) 
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文献情報 信学技報, vol. 117, no. 429, SDM2017-99, pp. 11-14, 2018年2月.
資料番号 SDM2017-99 
発行日 2018-02-01 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2018-02-08 - 2018-02-08 
開催地(和) 東京大学/本郷 
開催地(英) Tokyo Univ. 
テーマ(和) 配線・実装技術と関連材料技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2018-02-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ウェハボンディング技術における接合界面への絶縁膜中水分の影響とSiCN膜による抑制効果 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A Novel Role for SiCN to Suppress H2O Outgas from TEOS oxide films in wafer bonding 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 手谷 道成 / Michinari Tetani / テタニ ミチナリ
第1著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 森永 泰規 / Yasunori Morinaga / モリナガ ヤスノリ
第2著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 浜田 政一 / Masakazu Hamada / ハマダ マサカズ
第3著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹内 雅彦 / Masahiko Takeuchi / タケウチ マサヒコ
第4著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 宇家 眞司 / Shinji Uya / ウヤ シンジ
第5著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 矢野 尚 / Hisashi Yano / ヤノ ヒサシ
第6著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐藤 直昭 / Naoaki Sato / サトウ ナオアキ
第7著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 晋 / Susumu Matsumoto / マツモト ススム
第8著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor (略称: TPSCo)
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講演者
発表日時 2018-02-08 13:10:00 
発表時間 40 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2017-99 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.429 
ページ範囲 pp.11-14 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-SDM-2018-02-01 


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