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講演抄録/キーワード
講演名
2018-02-08 13:10
[招待講演]ウェハボンディング技術における接合界面への絶縁膜中水分の影響とSiCN膜による抑制効果
○
手谷道成
・
森永泰規
・
浜田政一
・
竹内雅彦
・
宇家眞司
・
矢野 尚
・
佐藤直昭
・
松本 晋
(
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
SDM2017-99
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2017-99
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 117, no. 429, SDM2017-99, pp. 11-14, 2018年2月.
資料番号
SDM2017-99
発行日
2018-02-01 (SDM)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
SDM2017-99
エレソ技報アーカイブへのリンク:
SDM2017-99
研究会情報
研究会
SDM
開催期間
2018-02-08 - 2018-02-08
開催地(和)
東京大学/本郷
開催地(英)
Tokyo Univ.
テーマ(和)
配線・実装技術と関連材料技術
テーマ(英)
講演論文情報の詳細
申込み研究会
SDM
会議コード
2018-02-SDM
本文の言語
日本語
タイトル(和)
ウェハボンディング技術における接合界面への絶縁膜中水分の影響とSiCN膜による抑制効果
サブタイトル(和)
タイトル(英)
A Novel Role for SiCN to Suppress H2O Outgas from TEOS oxide films in wafer bonding
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
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キーワード(2)(和/英)
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キーワード(3)(和/英)
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キーワード(4)(和/英)
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キーワード(5)(和/英)
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キーワード(6)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
手谷 道成
/
Michinari Tetani
/
テタニ ミチナリ
第1著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
森永 泰規
/
Yasunori Morinaga
/
モリナガ ヤスノリ
第2著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
浜田 政一
/
Masakazu Hamada
/
ハマダ マサカズ
第3著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
竹内 雅彦
/
Masahiko Takeuchi
/
タケウチ マサヒコ
第4著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
宇家 眞司
/
Shinji Uya
/
ウヤ シンジ
第5著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
矢野 尚
/
Hisashi Yano
/
ヤノ ヒサシ
第6著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
佐藤 直昭
/
Naoaki Sato
/
サトウ ナオアキ
第7著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
松本 晋
/
Susumu Matsumoto
/
マツモト ススム
第8著者 所属(和/英)
パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社
(略称:
パナソニック・タワージャズセミコンダクター
)
TowerJazz Panasonic Semiconductor
(略称:
TPSCo
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第9著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第10著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2018-02-08 13:10:00
発表時間
40分
申込先研究会
SDM
資料番号
SDM2017-99
巻番号(vol)
vol.117
号番号(no)
no.429
ページ範囲
pp.11-14
ページ数
4
発行日
2018-02-01 (SDM)
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