講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-01-25 13:30
c面サファイア基板上における六方晶BN薄膜の減圧CVD成長機構 ○川原崎 匠・梅原直己・名嘉眞朝泰・小南裕子・原 和彦(静岡大) EID2017-30 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2017-30 |
抄録 |
(和) |
BCl3とNH3を原料とする化学気相法を用いて,c面サファイア基板上に六方晶窒化ホウ素(h-BN)薄膜の作製を行った。まず、基板加熱方式を管状ヒーターと基板部分の局所加熱を併用するハイブリッド型の基板加熱方式に変更し、原料の気相反応の抑制効果を示した。次に、初期核形成が薄膜の品質影響を詳細に調べるために、成長温度と供給ガス流量を変化させ初期核形成の状態を観察した。その結果、成長温度は成長速度と核密度に影響し、NH3の供給量は核形成の振る舞いに影響を与えることがわかった。 |
(英) |
The hexagonal boron nitride (h-BN) thin films were grown on a c-plane sapphire substrate by low pressure chemical vapor deposition using BCl3 and NH3 as sources. First, we investigated the effects of heating methods in order to suppress the gas phase reaction of sources. Next, in order to understand the influences of initial nucleation on the quality of the thin film, the situations of initial nucleation were investigated for the samples grown by changing the growth temperature and the supply rate of HN3 gas. We have found that the growth temperature influences the growth rate and density of nuclear, and the supply amount of NH3 influences the behavior of nucleation. |
キーワード |
(和) |
六方晶窒化ホウ素 / CVD / 薄膜 / カソードルミネッセンス / / / / |
(英) |
hexagonal boron nitride / CVD / thin film / cathodoluminescence / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 411, EID2017-30, pp. 1-4, 2018年1月. |
資料番号 |
EID2017-30 |
発行日 |
2018-01-18 (EID) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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