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講演抄録/キーワード
講演名 2017-12-22 13:45
Three-dimension periodic nano-structure fabricated by proximity nano-patterning process (PnP)
Xudongfang WangYasuaki IshikawaShinji ArakiYukiharu UraokaNAIST)・Seokwoo JeonKAISTEID2017-18 SDM2017-79
抄録 (和) In recent years, 3D periodic nanostructure have attracted considerable interest because of its excellent performance and can be a variety of applications such as phononic crystals. Large area, nanoshell-based 3D structures can be easily fabricated using a photoresist templating process. However, conventional nanostructures require a low-throughput process which is complicated and expensive process. One emerging solution to address this problem is called proximity field nanopatterning (PnP). The infiltration processes use liquid ZnO for a nanoshell-based 3D periodic structure with high structural flexibility and controllability. Consequently, clearly formed nanostructures were fabricated by using a photoresists called KMPR. Both of these could lead to further development toward nanoshell-based 3D structures for various applications. 
(英) In recent years, 3D periodic nanostructure have attracted considerable interest because of its excellent performance and can be a variety of applications such as phononic crystals. Large area, nanoshell-based 3D structures can be easily fabricated using a photoresist templating process. However, conventional nanostructures require a low-throughput process which is complicated and expensive process. One emerging solution to address this problem is called proximity field nanopatterning (PnP). The infiltration processes use liquid ZnO for a nanoshell-based 3D periodic structure with high structural flexibility and controllability. Consequently, clearly formed nanostructures were fabricated by using a photoresists called KMPR. Both of these could lead to further development toward nanoshell-based 3D structures for various applications.
キーワード (和) Proximity field nanopatterning (PnP) / Three-dimensional (3D) / Nanoshell-based structure / / / / /  
(英) Proximity field nanopatterning (PnP) / Three-dimensional (3D) / Nanoshell-based structure / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 373, SDM2017-79, pp. 35-38, 2017年12月.
資料番号 SDM2017-79 
発行日 2017-12-15 (EID, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
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PDFダウンロード EID2017-18 SDM2017-79

研究会情報
研究会 SDM EID  
開催期間 2017-12-22 - 2017-12-22 
開催地(和) 京都大学 
開催地(英) Kyoto University 
テーマ(和) Si、Siを含む材料の作製、プロセス技術、デバイス、およびディスプレイ関連技術 
テーマ(英) Si, Si-related materials, device process, electron devices, and display technology 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2017-12-SDM-EID 
本文の言語 英語 
タイトル(和)  
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Three-dimension periodic nano-structure fabricated by proximity nano-patterning process (PnP) 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Proximity field nanopatterning (PnP) / Proximity field nanopatterning (PnP)  
キーワード(2)(和/英) Three-dimensional (3D) / Three-dimensional (3D)  
キーワード(3)(和/英) Nanoshell-based structure / Nanoshell-based structure  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 王 旭東方 / Xudongfang Wang / オウ キョクトウホウ
第1著者 所属(和/英) 奈良先端科学技術大学院大学 (略称: 奈良先端大)
Nara institute of Science and Technology university (略称: NAIST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 石河 泰明 / Yasuaki Ishikawa / イシカワ ヤスアキ
第2著者 所属(和/英) 奈良先端科学技術大学院大学 (略称: 奈良先端大)
Nara institute of Science and Technology university (略称: NAIST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 荒木 慎司 / Shinji Araki / アラキ シンジ
第3著者 所属(和/英) 奈良先端科学技術大学院大学 (略称: 奈良先端大)
Nara institute of Science and Technology university (略称: NAIST)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 浦岡 行治 / Yukiharu Uraoka / ウラオカ ユキハル
第4著者 所属(和/英) 奈良先端科学技術大学院大学 (略称: 奈良先端大)
Nara institute of Science and Technology university (略称: NAIST)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) な し / Seokwoo Jeon / ナ シ
第5著者 所属(和/英) 韓国科学技術院大学 (略称: KAIST)
Korea advanced institute of science and technology university (略称: KAIST)
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講演者
発表日時 2017-12-22 13:45:00 
発表時間 15 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-EID2017-18,IEICE-SDM2017-79 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.372(EID), no.373(SDM) 
ページ範囲 pp.35-38 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-EID-2017-12-15,IEICE-SDM-2017-12-15 


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