講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-12-01 10:20
自己組織化分子の混合による極薄絶縁膜の濡れ性改善 ○栗原一徳・東野寿樹・延島大樹・小笹健仁・植村 聖・吉田 学(産総研) OME2017-38 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2017-38 |
抄録 |
(和) |
本研究では低電圧駆動用絶縁膜の濡れ性改善を行った.一般に利用されているアルキル鎖末端の自己組織化材料は濡れ性が悪いため,これにベンゼン環を末端基に導入した自己組織化単分子を混合することで接触角を約30°低減し親水化することに成功した.また混合比を変えることで濡れ性の改善と移動度特性の両立ができることがわかったためこれを報告する. |
(英) |
We have improved wettability of thin gate dielectrics by mixing self-assembled monolayers (SAMs). Conventional SAMs shows low surface energy and don’t suit for solution process because of it alkyl chain terminal. Therefore, we mix lyophilic SAM with aromatic terminal into them to reduce contact angle by 30 degree. Optimizing ratio of molecular number of SAMs, we obtain high mobility and leakage current low enough. |
キーワード |
(和) |
自己組織化単分子 / 低電圧化 / 濡れ性 / 塗布型 / / / / |
(英) |
Self-assembled monolayer / Low-voltage operation / Wettability / Solution process / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 334, OME2017-38, pp. 15-18, 2017年12月. |
資料番号 |
OME2017-38 |
発行日 |
2017-11-24 (OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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