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講演抄録/キーワード
講演名 2017-09-01 09:10
機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引・低駆動電圧動作
西村 駿中濵正統井上俊也松谷晃宏坂口孝浩小山二三夫東工大エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2017-25 CPM2017-46 OPE2017-55 LQE2017-28
抄録 (和) 面発光レーザにマイクロマシン構造を集積したMEMS VCSELは高速波長掃引や高コヒーレントな光源としてセンシングや医療用イメージングへの応用が期待される.しかしマイクロマシン構造の駆動電圧が高いという課題がある.我々はカンチレバーの短尺化による高速動作と機械的共振の高Q値化による低電圧動作を提案する.今回は機械的共振を利用して,低電圧・高速波長掃引を行ったので報告する. 
(英) WWe demonstrated the low voltage and high speed wavelength sweep operation of 850 nm MEMS VCSELs by using high-Q mechanical resonance of the MEMS structure. At a cantilever length of 106μm, 20 nm sweep operation was achieved with a low sweep voltage of 0.7 Vpp. We estimate that the 50μm-long cantilever device enables us to sweep at a frequency of 746kHz, a bias voltage of 3V and swing voltage of 6Vpp.
キーワード (和) MEMS VCSEL / マイクロマシン構造 / 低電圧 / 高速波長掃引光源 / / / /  
(英) MEMS VCSEL / Micromachine structure / High speed swept source / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 195, LQE2017-28, pp. 37-40, 2017年8月.
資料番号 LQE2017-28 
発行日 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 R EMD CPM LQE OPE  
開催期間 2017-08-31 - 2017-09-01 
開催地(和) 弘前文化センター 
開催地(英)  
テーマ(和) 光部品・電子デバイス実装・信頼性、一般(OECC報告) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2017-08-R-EMD-CPM-LQE-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引・低駆動電圧動作 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Wide Wavelength Sweep & Low Voltage Operation of Tunable MEMSVCSEL Employing Mechanical Resonance 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MEMS VCSEL / MEMS VCSEL  
キーワード(2)(和/英) マイクロマシン構造 / Micromachine structure  
キーワード(3)(和/英) 低電圧 / High speed swept source  
キーワード(4)(和/英) 高速波長掃引光源 /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 西村 駿 / Shun Nishimura / ニシムラ シュン
第1著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 中濵 正統 / Masanori Nakahama / ナカハマ マサノリ
第2著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 井上 俊也 / Shunya Inoue / イノウエ シュンヤ
第3著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 松谷 晃宏 / Akihiro Matutani / マツタニ アキヒロ
第4著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 坂口 孝浩 / Takahiro Sakaguti / サカグチ タカヒロ
第5著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 小山 二三夫 / Fumio Koyama / コヤマ フミオ
第6著者 所属(和/英) 東京工業大学 (略称: 東工大)
Tokyo Institute of Technology (略称: Tokyo Inst. of Tech.)
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講演者
発表日時 2017-09-01 09:10:00 
発表時間 25 
申込先研究会 LQE 
資料番号 IEICE-R2017-31,IEICE-EMD2017-25,IEICE-CPM2017-46,IEICE-OPE2017-55,IEICE-LQE2017-28 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.191(R), no.192(EMD), no.193(CPM), no.194(OPE), no.195(LQE) 
ページ範囲 pp.37-40 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-R-2017-08-24,IEICE-EMD-2017-08-24,IEICE-CPM-2017-08-24,IEICE-OPE-2017-08-24,IEICE-LQE-2017-08-24 


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