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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-08-31 15:50 シリコンマイクロリング共振器水素ガスセンサの提案とその特性評価 ○松浦壮佑・山作直貴・國分泰雄・西島喜明・岡崎慎二・荒川太郎（横浜国大）  R2017-29 EMD2017-23 CPM2017-44 OPE2017-53 LQE2017-26 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2017-23 CPM2017-44 OPE2017-53 LQE2017-26 |
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| 抄録 | （和） | 光学式水素ガスセンサの超小型・軽量化，低コスト化を目指し，白金/酸化タングステン（Pt/WO3）薄膜と シリコンMRR（Si MRR）を組み合わせた水素ガスセンサを提案し，その設計と動作実証を行った．明確な共振波長シフトを観測するため，Pt/WO3とSi MRRの間のSiO2上部クラッド層厚の検討を行った．その結果に基づき水素ガスセンサを作製した．水素の爆発下限界である濃度4 %のH2/N2混合ガスを曝露したところ，最大で140 pmの共振波長の長波長シフトが観測され，高感度センサとして有望であることを示した． |
| （英） | Compact and highly-sensitive optical hydrogen gas sensor based on the combination of a Pt/WO3 thin film and a silicon microring resonator (MRR) is proposed and its sensing characteristics are experimentally demonstrated. To observe clear shifts in resonant wavelength of the MRR, the thickness of a SiO2 upper cladding layer was designed. The fabricated sensor exhibited the resonant wavelength shift of up to 140 pm when the sensor was exposed to 4 vol.% H2/N2. This result shows that the proposed sensor is promising for highly-sensitive compact gas sensors. | |
| キーワード | （和） | 水素ガス / ガスセンサ / 酸化タングステン / 白金触媒 / シリコンマイクロリング共振器 / / / |
| （英） | Hydrogen gas / Gas sensor / Tungsten trioxide / Platinum catalyst / Silicon microring resonator / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 194, OPE2017-53, pp. 27-30, 2017年8月. | |
| 資料番号 | OPE2017-53 | |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2017-29 EMD2017-23 CPM2017-44 OPE2017-53 LQE2017-26 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2017-23 CPM2017-44 OPE2017-53 LQE2017-26 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | R EMD CPM LQE OPE |
| 開催期間 | 2017-08-31 - 2017-09-01 |
| 開催地（和） | 弘前文化センター |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装・信頼性、一般(OECC報告) |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2017-08-R-EMD-CPM-LQE-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | シリコンマイクロリング共振器水素ガスセンサの提案とその特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Proposal and Characterization of Hydrogen Gas Sensor Based on Silicon Microring Resonator |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水素ガス / Hydrogen gas |
| キーワード(2)（和/英） | ガスセンサ / Gas sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 酸化タングステン / Tungsten trioxide |
| キーワード(4)（和/英） | 白金触媒 / Platinum catalyst |
| キーワード(5)（和/英） | シリコンマイクロリング共振器 / Silicon microring resonator |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 壮佑 / Sosuke Matsuura / マツウラ ソウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama National Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山作 直貴 / Naoki Yamasaku / ヤマサク ナオキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama National Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 國分 泰雄 / Yasuo Kokubun / コクブン ヤスオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama National Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西島 喜明 / Yoshiaki Nishijima / ニシジマ ヨシアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama National Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡崎 慎二 / Shinji Okazaki / オカザキ シンジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama National Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 太郎 / Taro Arakawa / アラカワ タロウ |
| 第6著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 (略称： 横浜国大) Yokohama National University (略称： Yokohama National Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-08-31 15:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | R2017-29, EMD2017-23, CPM2017-44, OPE2017-53, LQE2017-26 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.191(R), no.192(EMD), no.193(CPM), no.194(OPE), no.195(LQE) |
| ページ範囲 | pp.27-30 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
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