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講演抄録/キーワード
講演名 2017-08-31 14:20
波長掃引帯域の変動への適応によるSS-OCT膜厚計測値変動の抑制
上野雅浩坂本 尊豊田誠治佐々木雄三山口城治阪本 匡NTT)・藤本正俊山田真広浜松ホトニクス)・菅井栄一小平 徹NTT-ATエレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2017-20 CPM2017-41 OPE2017-50 LQE2017-23
抄録 (和) 層画像を高速に撮像する技術である。SS-OCTを用いた膜厚計測においては、波長掃引光源から出力された波長掃引光を観察対象に照射して得られる反射光を利用するが、何らかの影響によって掃引波長帯域が変動すると、観察対象の屈折率波長分散が原因で観察対象内の屈折率が変動するため、掃引波長帯域が異なると膜厚計測値が異なるという問題がある。我々は、屈折率波長分散特性を使って、波長変動に適応した信号処理を行うことにより、膜厚測定値の変動を抑制できることを確認したので、報告する。 
(英) Swept source optical coherence tomography (SS-OCT) is a technique to capture tomographic images of moving objects at high speed with high resolution of several 10 µm level. In thickness measurement using SS-OCT technique, the light reflected when the swept light is irradiated to the observation target is used. If the central wavelength of the sweep range fluctuates due to some influence, the optical path length within the observation target fluctuates due to the refractive index chromatic dispersion of the target. Therefore, the fluctuation of the center wavelength affects the thickness measurement value. In this paper, we describe that fluctuation of thickness measurement value can be suppressed by performing signal processing adapted to wavelength fluctuation using the dispersion characteristics.
キーワード (和) 屈折率波長分散 / SS-OCT / リスケーリング / リサンプリング / PSF / / /  
(英) Wavelength-dispersive refractive index / SS-OCT / Rescaling / Resampling / PSF / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 193, CPM2017-41, pp. 11-16, 2017年8月.
資料番号 CPM2017-41 
発行日 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 R EMD CPM LQE OPE  
開催期間 2017-08-31 - 2017-09-01 
開催地(和) 弘前文化センター 
開催地(英)  
テーマ(和) 光部品・電子デバイス実装・信頼性、一般(OECC報告) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2017-08-R-EMD-CPM-LQE-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 波長掃引帯域の変動への適応によるSS-OCT膜厚計測値変動の抑制 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Suppression of SS-OCT thickness Measurement Value Drift by Adaptation to Central Wavelength Shift of Sweep Range 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 屈折率波長分散 / Wavelength-dispersive refractive index  
キーワード(2)(和/英) SS-OCT / SS-OCT  
キーワード(3)(和/英) リスケーリング / Rescaling  
キーワード(4)(和/英) リサンプリング / Resampling  
キーワード(5)(和/英) PSF / PSF  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 上野 雅浩 / Masahiro Ueno / ウエノ マサヒロ
第1著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称: NTT)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 坂本 尊 / Takashi Sakamoto / サカモト タカシ
第2著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称: NTT)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 豊田 誠治 / Seiji Toyoda / トヨダ セイジ
第3著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称: NTT)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐々木 雄三 / Yuzo Sasaki / ササキ ユウゾウ
第4著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称: NTT)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 山口 城治 / Joji Yamaguchi / ヤマグチ ジョウジ
第5著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称: NTT)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 阪本 匡 / Tadashi Sakamoto / サカモト タダシ
第6著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社 (略称: NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称: NTT)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤本 正俊 / Masatoshi Fujimoto / フジモト マサトシ
第7著者 所属(和/英) 浜松ホトニクス株式会社 (略称: 浜松ホトニクス)
Hamamatsu Photonics K. K. (略称: Hamamatsu Photonics K. K.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 真広 / Mahiro Yamada / ヤマダ マヒロ
第8著者 所属(和/英) 浜松ホトニクス株式会社 (略称: 浜松ホトニクス)
Hamamatsu Photonics K. K. (略称: Hamamatsu Photonics K. K.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 菅井 栄一 / Eiichi Sugai / スガイ エイイチ
第9著者 所属(和/英) NTTアドバンステクノロジ株式会社 (略称: NTT-AT)
NTT Advanced Technology Corporation (略称: NTT-AT)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 小平 徹 / Toru Kodaira / コダイラ トオル
第10著者 所属(和/英) NTTアドバンステクノロジ株式会社 (略称: NTT-AT)
NTT Advanced Technology Corporation (略称: NTT-AT)
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講演者
発表日時 2017-08-31 14:20:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-R2017-26,IEICE-EMD2017-20,IEICE-CPM2017-41,IEICE-OPE2017-50,IEICE-LQE2017-23 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.191(R), no.192(EMD), no.193(CPM), no.194(OPE), no.195(LQE) 
ページ範囲 pp.11-16 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-R-2017-08-24,IEICE-EMD-2017-08-24,IEICE-CPM-2017-08-24,IEICE-OPE-2017-08-24,IEICE-LQE-2017-08-24 


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