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講演抄録/キーワード
講演名 2017-05-10 15:00
クラスタリングを用いたレイアウトパターン分類の一手法
石野修平長谷川 充藤吉邦洋東京農工大VLD2017-2
抄録 (和) 集積回路のレイアウト設計はデザインルールを順守して行われるが、微細加工が進んだために、露光の際に問題が発生する可能性が高い箇所が生じてしまうことがある。このような箇所はプロセスシミュレーションを行うことで発見可能だが、時間がかかるため、近年では代替手法として、問題のあった箇所を周囲を含めて指定サイズで切り出し(以降クリップと呼ぶ)、似たクリップ同士をグループ分けしてライブラリを作成しておき、レイアウトのチェックの際には、ライブラリ内のクリップに似たものをレイアウトから探す手法が実用化されている。本稿では、同一グループのクリップが面積などの物理量の観点で、与えられた範囲内に収まるグループ分けを行う。これはNP困難な最小支配集合問題となるためILPソルバーで解くが、問題のサイズが大きいと実用的な時間で解を求めることができない。そこで、ILPの前に、クリップ集合に機械学習のクラスタリングを行い、得られたクラスタごとにILPソルバーで解くというグループ分け手法を提案する。そして提案手法を計算機実装して実験を行い、ILPと組み合わせて実用的な時間で解を求めるという条件において有効な機械学習のクラスタリングを調べる。また、比較実験により提案手法の有効性を確認した。 
(英) Layout of VLSI circuits is designed according to design rule, however, hotspots may remain due to feature size shrinking. In recent years, we group layout clips of hotspots of similar pattern to create library, which is used to detect hotspots from new layout. The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification. In this paper, we propose a method of layout pattern classification using clustering of machine learning before ILP. Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method.
キーワード (和) レイアウトパターン分類 / クラスタリング / 整数線形計画法 / / / / /  
(英) Layout Pattern Classification / Clustering / ILP / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 17, VLD2017-2, pp. 7-12, 2017年5月.
資料番号 VLD2017-2 
発行日 2017-05-03 (VLD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード VLD2017-2

研究会情報
研究会 VLD IPSJ-SLDM  
開催期間 2017-05-10 - 2017-05-10 
開催地(和) 北九州国際会議場 
開催地(英) Kitakyushu International Conference Center 
テーマ(和) システム設計および一般 
テーマ(英) System Design, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 VLD 
会議コード 2017-05-VLD-SLDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) クラスタリングを用いたレイアウトパターン分類の一手法 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A Method of Layout Pattern Classification Using Clustering 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) レイアウトパターン分類 / Layout Pattern Classification  
キーワード(2)(和/英) クラスタリング / Clustering  
キーワード(3)(和/英) 整数線形計画法 / ILP  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 石野 修平 / Shuhei Ishino / イシノ シュウヘイ
第1著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 長谷川 充 / Mitsuru Hasegawa / ハセガワ ミツル
第2著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi / フジヨシ クニヒロ
第3著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: TUAT)
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講演者
発表日時 2017-05-10 15:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 VLD 
資料番号 IEICE-VLD2017-2 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.17 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-VLD-2017-05-03 


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