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講演抄録/キーワード
講演名 2017-04-21 11:00
[依頼講演]高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ
岡本浩一郎多田宗弘伴野直樹井口憲幸波田博光阪本利司宮村 信辻 幸秀根橋竜介森岡あゆ香白 旭杉林直彦NECエレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2017-13
抄録 (和) 低消費電力FPGAを実現可能とするCu架橋の形成でスイッチングする原子スイッチについて、Cuイオンが伝導するポリマー固体電解質(PSE:polymer-solid electrolyte)の改良を行い、耐熱性と絶縁耐圧を向上させた。耐熱性が400℃以上に向上したことで、標準的なロジックファブのBEOLプロセス温度(400℃)においてCu原子スイッチの集積化が可能となった。高耐熱性(Thermally tolerant)PSE(TT-PSE)を用いて原子スイッチを試作したところ、オン、オフ双方の状態において、-65℃/150℃の1000時間冷熱温度サイクル試験後においても不良は発生せず、高い信頼性を有していることを実証した。 
(英) Robust Cu atom switch with higher operation reliability has been developed featuring an over-400C thermally tolerant polymer-solid electrolyte (TT-PSE).The improved thermal tolerance of PSE enables atom switch integration using standard Cu-BEOL (fully 400oC) process. The TT-PSE also gives higher breakdown voltage (+1V) with keeping low set voltage (2V). Data retention characteristics after thermal cycle stress at temperature ranging from -65 to 150C for 1000 cycles are also confirmed for the first time. The developed atom switch is to be a technology enabler of reliable reprogrammable logics for future applications operated at high temperatures.
キーワード (和) 原子スイッチ / クロスバー / 不揮発再構成回路 / / / / /  
(英) Atom switch / Crossbar / Nonvolatile programmable logic / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 9, ICD2017-13, pp. 67-72, 2017年4月.
資料番号 ICD2017-13 
発行日 2017-04-13 (ICD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 ICD  
開催期間 2017-04-20 - 2017-04-21 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) メモリ技術と集積回路関連一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ICD 
会議コード 2017-04-ICD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Highly reliable Cu atom switch using thermally tolerant Polymer-solid Electrolyte (TT-PSE) for Nonvolatile Programmable Logic 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 原子スイッチ / Atom switch  
キーワード(2)(和/英) クロスバー / Crossbar  
キーワード(3)(和/英) 不揮発再構成回路 / Nonvolatile programmable logic  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡本 浩一郎 / Koichiro Okamoto / オカモト コウイチロウ
第1著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 多田 宗弘 / Munehiro Tada / タダ ムネヒロ
第2著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 伴野 直樹 / Naoki Banno / バンノ ナオキ
第3著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 井口 憲幸 / Noriyuki Iguchi / イグチ ノリユキ
第4著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 波田 博光 / Hiromitsu Hada / ハダ ヒロミツ
第5著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 阪本 利司 / Toshitsugu Sakamoto / サカモト トシツグ
第6著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮村 信 / Makoto Miyamura / ミヤムラ マコト
第7著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 辻 幸秀 / Yukihide Tsuji / ツジ ユキヒデ
第8著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 根橋 竜介 / Ryusuke Nebashi / ネバシ リュウスケ
第9著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 森岡 あゆ香 / Ayuka Morioka / モリオカ アユカ
第10著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 白 旭 / Xu Bai / Xu Bai
第11著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉林 直彦 / Tadahiko Sugibayashi / スギバヤシ タダヒコ
第12著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
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講演者
発表日時 2017-04-21 11:00:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ICD 
資料番号 IEICE-ICD2017-13 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.9 
ページ範囲 pp.67-72 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-ICD-2017-04-13 


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