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講演抄録/キーワード
講演名 2017-04-20 13:00
[招待講演]ナノドット型恒久メモリーの研究
渡邊 強三浦典之劉 施佳今井繁規永田 真神戸大エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2017-4
抄録 (和) ワード線、ビット線の交差部分に配したナノドットの静電容量をデータとして読み取る恒久メモリーを考案し、0.18m CMOSプロセスで作製したテストチップを用いて、読み取り特性の1000年以上の耐久性を検証した。更に、EBL、NILを用いてナノドット、読み取り配線を微細化することにより、1.3Tbit/in2の高密度化が可能であることを明らかにした。 
(英) We propose a permanent digital memory system in which data is saved by a presence of metal nano-dot at interconnects of word line and bit line. The data is retrieved by mutual capacitance difference due to the nano-dot presence. A test chip is prepared by 0.18μm CMOS process. Its read-out properties have over 1000-years durability which is verified by aging acceleration test. It is shown that an areal density of memory can be increased up to 1.3Tbit/in2 by miniaturization of nano-dots and word/bit lines using EB lithography and nanoimprint lithography.
キーワード (和) 恒久メモリー / ナノドット / EBリソグラフィー / ナノインプリントリソグラフィー / / / /  
(英) Permanent memory / nano-dot / EB lithography / Nanoimprint lithography / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 9, ICD2017-4, pp. 17-22, 2017年4月.
資料番号 ICD2017-4 
発行日 2017-04-13 (ICD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 ICD  
開催期間 2017-04-20 - 2017-04-21 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) メモリ技術と集積回路関連一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ICD 
会議コード 2017-04-ICD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ナノドット型恒久メモリーの研究 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Study on Nano-Dot Structure Permanent Memory 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 恒久メモリー / Permanent memory  
キーワード(2)(和/英) ナノドット / nano-dot  
キーワード(3)(和/英) EBリソグラフィー / EB lithography  
キーワード(4)(和/英) ナノインプリントリソグラフィー / Nanoimprint lithography  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 渡邊 強 / Tsuyoshi Watanabe / ワタナベ ツヨシ
第1著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 典之 / Noriyuki Miura / ミウラ ノリユキ
第2著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 劉 施佳 / Shijia Liu / リュウ シカ
第3著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 今井 繁規 / Shigeki Imai / イマイ シゲキ
第4著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 永田 真 / Makoto Nagata / ナガタ マコト
第5著者 所属(和/英) 神戸大学 (略称: 神戸大)
Kobe University (略称: Kobe Univ.)
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講演者
発表日時 2017-04-20 13:00:00 
発表時間 50 
申込先研究会 ICD 
資料番号 IEICE-ICD2017-4 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.9 
ページ範囲 pp.17-22 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-ICD-2017-04-13 


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