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講演抄録/キーワード
講演名 2017-03-02 10:55
LSIマスクパターンに対する近似文字列照合に基づくホットスポット検出手法の高速化
玉川宗磨稲木雅人永山 忍若林真一広島市大VLD2016-112
抄録 (和) 超微細LSI 製造においてはマスクパターン上にLSI の故障を引き起こすパターンであるホットスポットが存在する.
ホットスポットは光学シミュレーションにより検出するが,長時間を要するため,ホットスポット候補の効率的検出手法の開発が望まれる.
既存研究において,1次元パターンの照合手法である類似部分文字列検索を応用したホットスポット候補検出手法が提案されている.
この手法では,一般的に用いられるテンプレートマッチング手法に比べ,柔軟な検出が期待できる一方,類似部分文字列検索で使用する編集距離行列の計算に時間を要する.
そこで本研究では,事前計算結果のテーブル参照による要素計算と,複数要素の同時計算を組み合わせて,編集距離行列の計算を高速化した.
既存手法との比較実験により,既存手法の約11分の1の計算時間の達成を確認した. 
(英) In nanoscale LSI fabrication, there exists a pattern on the mask pattern, called a hotspot, which leads to a failure.
Hotspots are detected by optical simulation.
However, it takes very long time.
Therefore, some studies have been conducted to realize efficient hotspot candidate detection.
In an existing study, a hotspot candidate detection method based on approximate string search, which is a one-dimensional pattern matching technique, was proposed.
In this method, while more flexible hotspot detection compared to commonly used template matching can be expected, this method takes more time to calculate the edit distance matrix in approximate string search.
In this study, we improved the calculation speed of the edit distance matrix, by a combination of a table reference-based calculation of an element of the matrix, and a parallel calculation of multiple elements.
As a result of evaluation experiments, we confirmed that our method achieved about 1/11 calculation time, compared to the existing method.
キーワード (和) ホットスポット / 光学シミュレーション / 類似部分文字列検索 / / / / /  
(英) Hotspot / Optical simulation / Approximate string search / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, no. 478, VLD2016-112, pp. 61-66, 2017年3月.
資料番号 VLD2016-112 
発行日 2017-02-22 (VLD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード VLD2016-112

研究会情報
研究会 VLD  
開催期間 2017-03-01 - 2017-03-03 
開催地(和) 沖縄県青年会館 
開催地(英) Okinawa Seinen Kaikan 
テーマ(和) システムオンシリコンを支える設計技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 VLD 
会議コード 2017-03-VLD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) LSIマスクパターンに対する近似文字列照合に基づくホットスポット検出手法の高速化 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Acceleration of a Hotspot Detection Method Based on Approximate String Matching for LSI Mask Pattern Using Table Reference 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ホットスポット / Hotspot  
キーワード(2)(和/英) 光学シミュレーション / Optical simulation  
キーワード(3)(和/英) 類似部分文字列検索 / Approximate string search  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 玉川 宗磨 / Shuma Tamagawa / タマガワ シュウマ
第1著者 所属(和/英) 広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: Hirohima City Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 稲木 雅人 / Masato Inagi / イナギ マサト
第2著者 所属(和/英) 広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: Hirohima City Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 永山 忍 / Shinobu Nagayama / ナガヤマ シノブ
第3著者 所属(和/英) 広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: Hirohima City Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 若林 真一 / Shin'ichi Wakabayashi / ワカバヤシ シンイチ
第4著者 所属(和/英) 広島市立大学 (略称: 広島市大)
Hiroshima City University (略称: Hirohima City Univ.)
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講演者
発表日時 2017-03-02 10:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 VLD 
資料番号 IEICE-VLD2016-112 
巻番号(vol) IEICE-116 
号番号(no) no.478 
ページ範囲 pp.61-66 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-VLD-2017-02-22 


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