講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-11-19 11:35
触媒反応支援CVD法により成長した非極性ZnO結晶膜の光学特性 ○池田宗謙・田島諒一・安達雄大・玉山泰宏・加藤有行・安井寛治(長岡技科大) CPM2016-73 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2016-73 |
抄録 |
(和) |
触媒反応により生成した高エネルギーH_2Oを用いたCVD法により,r面サファイア基板上に非極性ZnO膜の成長を行い,得られた結晶膜の発光の偏光特性を調べた。その結果,低温成長したZnO膜において強い角度依存性が見られ,成長温度の上昇とともに角度依存性は弱くなった.AFM像からa面由来のストライプ構造が観測され低温では短軸方向の[1-100]軸方向の幅が0.1µm以下と非常に小さく成長温度の上昇と共に[1-100]軸方向の幅が約0.5µmまで大きくなった.偏光の角度依存性はこのドメインの構造に由来していると考えられる. |
(英) |
Non-polar ZnO films were grown on r-plane sapphire substrates through a reaction between dimethylzinc and high-temperature H_2O produced by a Pt-catalyzed H2 and O_2 reaction. The deposition temperature was set at 400^oC, 500^oC, 600^oC and 700^oC. The ZnO films exhibited linearly polarized emission. The lower the growth temperature became, the stronger the relative intensity between strong emission intensity and weak intensity became. Surface morphology of the ZnO films on the r-plane sapphire substrates showed anisotropic structure with nanostripe arrays. The polarization characteristic may be derived from the crystal domain structure. |
キーワード |
(和) |
触媒反応 / 非極性ZnO / 偏光特性 / / / / / |
(英) |
catalytic reaction / nonpolar ZnO / polarization property / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 311, CPM2016-73, pp. 59-63, 2016年11月. |
資料番号 |
CPM2016-73 |
発行日 |
2016-11-11 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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