お知らせ 2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ 技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ 電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW 参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2016-11-19 11:35
触媒反応支援CVD法により成長した非極性ZnO結晶膜の光学特性
池田宗謙田島諒一安達雄大玉山泰宏加藤有行安井寛治長岡技科大CPM2016-73 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2016-73
抄録 (和) 触媒反応により生成した高エネルギーH_2Oを用いたCVD法により,r面サファイア基板上に非極性ZnO膜の成長を行い,得られた結晶膜の発光の偏光特性を調べた。その結果,低温成長したZnO膜において強い角度依存性が見られ,成長温度の上昇とともに角度依存性は弱くなった.AFM像からa面由来のストライプ構造が観測され低温では短軸方向の[1-100]軸方向の幅が0.1µm以下と非常に小さく成長温度の上昇と共に[1-100]軸方向の幅が約0.5µmまで大きくなった.偏光の角度依存性はこのドメインの構造に由来していると考えられる. 
(英) Non-polar ZnO films were grown on r-plane sapphire substrates through a reaction between dimethylzinc and high-temperature H_2O produced by a Pt-catalyzed H2 and O_2 reaction. The deposition temperature was set at 400^oC, 500^oC, 600^oC and 700^oC. The ZnO films exhibited linearly polarized emission. The lower the growth temperature became, the stronger the relative intensity between strong emission intensity and weak intensity became. Surface morphology of the ZnO films on the r-plane sapphire substrates showed anisotropic structure with nanostripe arrays. The polarization characteristic may be derived from the crystal domain structure.
キーワード (和) 触媒反応 / 非極性ZnO / 偏光特性 / / / / /  
(英) catalytic reaction / nonpolar ZnO / polarization property / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, no. 311, CPM2016-73, pp. 59-63, 2016年11月.
資料番号 CPM2016-73 
発行日 2016-11-11 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2016-73 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2016-73

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2016-11-18 - 2016-11-19 
開催地(和) 金沢工大 扇が丘キャンパス 
開催地(英)  
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2016-11-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 触媒反応支援CVD法により成長した非極性ZnO結晶膜の光学特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Optical properties of non-polar ZnO films grown by catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 触媒反応 / catalytic reaction  
キーワード(2)(和/英) 非極性ZnO / nonpolar ZnO  
キーワード(3)(和/英) 偏光特性 / polarization property  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 池田 宗謙 / Munenori Ikeda / イケダ ムネノリ
第1著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 田島 諒一 / Ryouich Tajima / タジマ リョウイチ
第2著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 安達 雄大 / Yuki Adachi / アダチ ユウキ
第3著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 玉山 泰宏 / Yasuhiro Tamayama / タマヤマ ヤスヒロ
第4著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 加藤 有行 / Ariyuki Kato / カトウ アリユキ
第5著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ
第6著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第7著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第8著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第9著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者 第1著者 
発表日時 2016-11-19 11:35:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2016-73 
巻番号(vol) vol.116 
号番号(no) no.311 
ページ範囲 pp.59-63 
ページ数
発行日 2016-11-11 (CPM) 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会