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講演抄録/キーワード
講演名 2016-11-17 15:55
X線透視観察装置における高白黒階調性能の効果について
芝野照夫三菱電機R2016-53
抄録 (和) 最近のX線透視観察装置においては、X線受光デバイスの性能が向上し、大画面化、高分解能化に加えて白黒階調データの多ビット化による高白黒階調性能化が実現している。この高白黒階調性能化は他の性能向上と比べて着目度は低いが、部品や材料のX線透視観察においてその能力を大きく向上させる効果をもたらす。本報告では、従来X線透視での観察が困難とされている半導体Alワイヤ配線や積層セラミックコンデンサのクラック故障の観察について、白黒階調データが8ビットと16ビットの装置を比較する形で観察結果を示し、高白黒階調化による観察性能の向上効果を説明する。さらに、樹脂成形部品において高白黒階調による樹脂流動の可視化についても報告する。 
(英) In recent X-ray fluoroscopic inspection devices, the performances of the X-ray camera device are improved, they are bigger screen size, higher resolution, and higher gray-scale performance obtained by increasing the numerical number of bits of data. In present situation, this high gray-scale performance is low degree of attention compared with other performance improvement, but this performance brings about the effect of greatly improving its ability in the X-ray fluoroscopic observation of parts and materials. In this report, the observation of semiconductor Al wiring and crack failures of multilayer ceramic capacitor, they are difficult to observe in the conventional X-ray fluoroscopy inspection devices, are done in two X-ray fluoroscopic inspection devices that one is 8-bit gray-scale device and another one is 16-bit gray-scale device. From the comparison of the observation results, it is explained that the high gray-scale performance improves the observation performance. In addition, the visualization of resin flow in the resin molded parts obtained by the high gray-scale performance is also reported.
キーワード (和) X線透視観察 / 高白黒階調 / Alワイヤボンディング / 積層セラミックコンデンサ / 樹脂流動観察 / / /  
(英) X-ray fluoroscopy / high gray-scale / Al wire bonding / multilayer ceramic capacitor / resin flow observation / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, no. 301, R2016-53, pp. 23-28, 2016年11月.
資料番号 R2016-53 
発行日 2016-11-10 (R) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード R2016-53

研究会情報
研究会 R  
開催期間 2016-11-17 - 2016-11-17 
開催地(和) 大阪中央電気倶楽部 
開催地(英) Osaka Central Electric Club Bldg. 
テーマ(和) 半導体と電子デバイスの信頼性,信頼性一般(共催:日本信頼性学会関西支部) 
テーマ(英) Reliability for semiconductors and electronics devices, Overall reliability engineering (co-organized by Reliability Engineering Association of Japan Kansai Branch) 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 R 
会議コード 2016-11-R 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) X線透視観察装置における高白黒階調性能の効果について 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) The effect of high gray-scale resolution for the high observation performance in X-ray inspection systems 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) X線透視観察 / X-ray fluoroscopy  
キーワード(2)(和/英) 高白黒階調 / high gray-scale  
キーワード(3)(和/英) Alワイヤボンディング / Al wire bonding  
キーワード(4)(和/英) 積層セラミックコンデンサ / multilayer ceramic capacitor  
キーワード(5)(和/英) 樹脂流動観察 / resin flow observation  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 芝野 照夫 / Teruo Shibano / シバノ テルオ
第1著者 所属(和/英) 三菱電機株式会社 (略称: 三菱電機)
Mitsubishi Electirc Corporation (略称: MELCO)
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講演者 第1著者 
発表日時 2016-11-17 15:55:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 R 
資料番号 R2016-53 
巻番号(vol) vol.116 
号番号(no) no.301 
ページ範囲 pp.23-28 
ページ数
発行日 2016-11-10 (R) 


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