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講演抄録/キーワード
講演名 2016-10-27 13:00
[招待講演]高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発
高橋広樹田中浩司小田真弘安藤三善新添真人パナソニック・タワージャズセミコンダクター)・河合真一浅野拓也吉田 貢山田 徹PSCSSDM2016-77 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2016-77
抄録 (和) 高い近赤外(NIR)感度と高い変調伝達関数(MTF)を同時に実現する為、2つのフォトダイオードを積層した新たな画素構造(Stacked Deep Photodiode : SDP)を開発した。 SDP構造の5.4μm 画素は、隣接する画素と完全に分離された10µm の深さを有するフォトダイオードにより、850nmの波長において、量子効率 (QE) 30% 、ナイキスト周波数においてMTF 40% を達成した。さらに、斜め入射光に対して最適化する事が可能なShifted-SDPは、入射角25 ºで850nmの波長においてクロストークを1.5%に抑制する事ができた。 
(英) Novel pixel structure with Stacked Deep Photodiode (SDP) has been newly developed for both high Near Infra-Red (NIR) sensitivity and high Modulation Transfer Function (MTF). SDP with 5.4µm pixel pitch has achieved Quantum Efficiency (QE) of 30% and MTF of 40% at Nyquist frequency at 850nm wavelength by stacking photodiode completely separated from neighboring pixels. Furthermore, Shifted SDP which can be optimized for oblique incident light has suppressed crosstalk as low as 1.5% at 25 º at 850 nm wavelength.
キーワード (和) NIR / MTF / 積層 / イメージセンサー / クロストーク / / /  
(英) NIR / MTF / Stack / Image sensor / Crosstalk / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, no. 270, SDM2016-77, pp. 45-48, 2016年10月.
資料番号 SDM2016-77 
発行日 2016-10-19 (SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2016-77 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2016-77

研究会情報
研究会 SDM  
開催期間 2016-10-26 - 2016-10-27 
開催地(和) 東北大学未来研 
開催地(英) Niche, Tohoku Univ. 
テーマ(和) プロセス科学と新プロセス技術 
テーマ(英) Process Science and New Process Technology 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2016-10-SDM 
本文の言語 英語(日本語タイトルあり) 
タイトル(和) 高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Novel Pixel Structure with Stacked Deep Photodiode to Achieve High NIR Sensitivity and High MTF 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) NIR / NIR  
キーワード(2)(和/英) MTF / MTF  
キーワード(3)(和/英) 積層 / Stack  
キーワード(4)(和/英) イメージセンサー / Image sensor  
キーワード(5)(和/英) クロストーク / Crosstalk  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 高橋 広樹 / Hiroki Takahashi / タカハシ ヒロキ
第1著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズ セミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 浩司 / Hiroshi Tanaka / タナカ ヒロシ
第2著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズ セミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 小田 真弘 / Masahiro Oda / オダ マサヒロ
第3著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズ セミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 安藤 三善 / Mitsuyoshi Ando / アンドウ ミツヨシ
第4著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズ セミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 新添 真人 / Naoto Niisoe / ニイソエ ナオト
第5著者 所属(和/英) パナソニック・タワージャズ セミコンダクター株式会社 (略称: パナソニック・タワージャズセミコンダクター)
TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. (略称: TPSCo)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 河合 真一 / Shinichi Kawai / カワイ シンイチ
第6著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクター ソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 浅野 拓也 / Takuya Asano / アサノ タクヤ
第7著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクター ソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 貢 / Mitsugu Yoshita / ヨシタ ミツグ
第8著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクター ソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 徹 / Tohru Yamada / ヤマダ トオル
第9著者 所属(和/英) パナソニック セミコンダクター ソリューションズ株式会社 (略称: PSCS)
Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd. (略称: PSCS)
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講演者
発表日時 2016-10-27 13:00:00 
発表時間 50 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-SDM2016-77 
巻番号(vol) IEICE-116 
号番号(no) no.270 
ページ範囲 pp.45-48 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-SDM-2016-10-19 


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