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講演抄録/キーワード
講演名 2016-10-26 09:55
Ⅲ族酸化物で修飾したW(100)面からの電子放射 ~ Sc酸化物, Pr酸化物, Nd酸化物による仕事関数低下現象 ~
川久保貴史香川高専)・中根英章室蘭工大ED2016-52 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2016-52
抄録 (和) 高融点金属の一つであるタングステンは,電子源の材料として用いられている.W(100)面は仕事関数が4.6eVと比較的高いが,表面をジルコニウムと酸素で修飾するとその仕事関数が2.7eV程度まで選択的に低下することが知られている.この現象を用いたZrO/W(100)電子源は測長SEM等の電子ビーム装置に広く用いられている.また,W(100)面の仕事関数低下現象は,ジルコニウム以外の?族や?族元素と酸素による修飾でも起こることが報告されており,ZrO/W(100)よりも高輝度な電子源を実現するための材料探索が行われている.本研究では,スカンジウム,プラセオジム,ネオジムの各酸化物で修飾したタングステン電子源を作製し,その仕事関数を電界放射によって測定したので報告する. 
(英) Tungsten which is one of high melting metal is employed as the material of the electron source. The work function of tungsten (100) surface is 4.6 eV. Although the work function is high value relatively, the value can be reduced to 2.7 eV selectively by the surface modification. ZrO/W (100) electron source using this phenomenon is used widely for electron beam system, e.g. critical dimension SEM. Also the phenomenon is occurred by modification of oxygen and 3 group element or 4 group element instead of zirconium and oxygen. In this research, we measured the work function of tungsten surface modified by scandium oxide, praseodymium oxide, and neodymium oxide by using field emission microscopy.
キーワード (和) Sc酸化物 / Pr酸化物 / Nd酸化物 / 仕事関数 / 電界放射 / / /  
(英) Scandium oxide / Praseodymium oxide / Neodymium oxide / Work function / Field emission / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, no. 268, ED2016-52, pp. 41-46, 2016年10月.
資料番号 ED2016-52 
発行日 2016-10-18 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
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技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2016-52 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2016-52

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2016-10-25 - 2016-10-26 
開催地(和) 三重大学 新産業創成研究拠点(旧VBL) 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2016-10-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) Ⅲ族酸化物で修飾したW(100)面からの電子放射 
サブタイトル(和) Sc酸化物, Pr酸化物, Nd酸化物による仕事関数低下現象 
タイトル(英) Electron Emission from W(100) Surface modified by Group 3 Elements 
サブタイトル(英) Work Function Reduction by Sc Oxide, Pr Oxide and Nd Oxide 
キーワード(1)(和/英) Sc酸化物 / Scandium oxide  
キーワード(2)(和/英) Pr酸化物 / Praseodymium oxide  
キーワード(3)(和/英) Nd酸化物 / Neodymium oxide  
キーワード(4)(和/英) 仕事関数 / Work function  
キーワード(5)(和/英) 電界放射 / Field emission  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 川久保 貴史 / Takashi Kawakubo / カワクボ タカシ
第1著者 所属(和/英) 香川高等専門学校詫間キャンパス (略称: 香川高専)
National Institute of Technology, Kagawa College (略称: NIT Kagawa)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 中根 英章 / Hideaki Nakane /
第2著者 所属(和/英) 室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran Inst. of Tech.)
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講演者
発表日時 2016-10-26 09:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 ED 
資料番号 IEICE-ED2016-52 
巻番号(vol) IEICE-116 
号番号(no) no.268 
ページ範囲 pp.41-46 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-ED-2016-10-18 


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