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講演抄録/キーワード
講演名 2016-05-19 15:50
パリレン薄膜を用いたアルミサブ波長格子によるプラズモニックカラーシートの製作
熊谷隼人豊橋技科大)・本間浩章豊橋技科大/学振)・石田 誠澤田和明豊橋技科大/豊橋技科大EIIRIS)・高橋一浩豊橋技科大エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2016-19 CPM2016-7 SDM2016-24
抄録 (和) 本研究は、フレキシブルな光透過フィルタを目的として、アルミサブ波長格子を内部に埋め込んだ自立構造を有する薄膜プラズモニックカラーシートを製作した。シートには膜厚1 µm以下のポリパラキシリレン(パリレンN)を用いて、アルミサブ波長格子はEB直接描画法とリフトオフ技術により形成した。その結果、格子周期に依存した透過色の観測に成功した。また、残留応力の無視できるパリレンNを用いたことにより、100 × 100 µm2のエリア内で自立シートに反りのない均一な透過特性を得ることができた。さらに、サブ波長格子周期と透過波長ピークの関係は、格子間の空気・パリレンモデルでフィッティングすることによりFDTDを用いた光学解析の結果とよい一致が確認された。 
(英) We fabricated a free-standing thin plasmonic color sheet embedded with Al subwavelength gratings for flexible optical transmission filters. A poly-para-xylylene (parylene-N) with a thickness of less than 1 µm was used as the thin sheet. Al subwavelength gratings were formed by using an electron-beam direct writing and a lift-off technique. As a result, we demonstrated transmission color depended on the period of the Al grating. In addition, the free-standing parylene film provided uniform transmission color in the filter area of 100 × 100µm2 due to the negligible residual stress by room temperature CVD. Transmission peak as a function of grating period was good agreement with simulation result by FDTD method using mixed model of parylene-N and air to the grating gap.
キーワード (和) MEMS / カラーフィルタ / 表面プラズモン / フレキシブル薄膜 / / / /  
(英) MEMS / color filter / surface plasmon / flexible thin film / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 116, no. 50, SDM2016-24, pp. 29-34, 2016年5月.
資料番号 SDM2016-24 
発行日 2016-05-12 (ED, CPM, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)

研究会情報
研究会 CPM ED SDM  
開催期間 2016-05-19 - 2016-05-20 
開催地(和) 静岡大学 工学部 (浜松キャンパス・総合研究棟) 
開催地(英) Shizuoka University, Hamamatsu campus (Joint Research Lab.) 
テーマ(和) 結晶成長、評価及びデバイス(化合物、Si、SiGe、電子・光材料)およびその他 
テーマ(英) crystal growth、devices characterization , etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2016-05-CPM-ED-SDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) パリレン薄膜を用いたアルミサブ波長格子によるプラズモニックカラーシートの製作 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of a thin plasmonic color sheet embedded with Al subwavelength gratings in parylene 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(2)(和/英) カラーフィルタ / color filter  
キーワード(3)(和/英) 表面プラズモン / surface plasmon  
キーワード(4)(和/英) フレキシブル薄膜 / flexible thin film  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 熊谷 隼人 / Hayato Kumagai / クマガイ ハヤト
第1著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 本間 浩章 / Hiroaki Honma / ホンマ ヒロアキ
第2著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学/日本学術振興会 (略称: 豊橋技科大/学振)
Toyohashi University of Technology/Japan Society for the Promotion of Science (略称: Toyohashi Univ./JSPS)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 石田 誠 / Makoto Ishida / イシダ マコト
第3著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学/エレクトロニクス先端融合研究所 (略称: 豊橋技科大/豊橋技科大EIIRIS)
Toyohashi University of Technology/Electronics Inspired-Interdisciplinary Research Institute (略称: Toyohashi Univ./EIIRIS)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 澤田 和明 / Kazuaki Sawada / サワダ カズアキ
第4著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学/エレクトロニクス先端融合研究所 (略称: 豊橋技科大/豊橋技科大EIIRIS)
Toyohashi University of Technology/Electronics Inspired-Interdisciplinary Research Institute (略称: Toyohashi Univ./EIIRIS)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi / タカハシ カズヒロ
第5著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学 (略称: 豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology (略称: Toyohashi Univ.)
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講演者
発表日時 2016-05-19 15:50:00 
発表時間 25 
申込先研究会 SDM 
資料番号 IEICE-ED2016-19,IEICE-CPM2016-7,IEICE-SDM2016-24 
巻番号(vol) IEICE-116 
号番号(no) no.48(ED), no.49(CPM), no.50(SDM) 
ページ範囲 pp.29-34 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-ED-2016-05-12,IEICE-CPM-2016-05-12,IEICE-SDM-2016-05-12 


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