| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-04-08 16:50 スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT ○原田大成・我喜屋風太・安次富卓哉・岡田竜弥・野口 隆（琉球大）・野田勘治・諏訪 輝（ギガフォトン）・池上 浩（九大）・奥山哲雄（東洋紡）  SDM2016-10 OME2016-10 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2016-10 OME2016-10 |
|
| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 1, SDM2016-10, pp. 39-41, 2016年4月. | |
| 資料番号 | SDM2016-10 | |
| 発行日 | 2016-04-01 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2016-10 OME2016-10 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2016-10 OME2016-10 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2016-04-08 - 2016-04-09 |
| 開催地（和） | 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 |
| 開催地（英） | Okinawa Prefectural Museum & Art Museum |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2016-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Multi-shots ELA of sputtered Si film and TFT with metal source-drain structure |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原田 大成 / Taisei Harada / ハラダ タイセイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 我喜屋 風太 / Futa Gakiya / ガキヤ フウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安次富 卓哉 / Takuya Ashitomi / アシトミ タクヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野田 勘治 / Kanji Noda / ノダ カンジ |
| 第6著者 所属（和/英） | 株式会社ギガフォトン (略称： ギガフォトン) GiGAPHOTON Incorporated (略称： GiGAPHOTON Inc.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 諏訪 輝 / Akira Suwa / スワ アキラ |
| 第7著者 所属（和/英） | 株式会社ギガフォトン (略称： ギガフォトン) GiGAPHOTON Incorporated (略称： GiGAPHOTON Inc.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池上 浩 / Hiroshi Ikenoue / イケノウエ ヒロシ |
| 第8著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyusyu University (略称： Kyusyu Univ.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奥山 哲雄 / Tetsuo Okuyama / オクヤマ テツオ |
| 第9著者 所属（和/英） | 株式会社東洋紡 (略称： 東洋紡) TOYOBO Company, Limited (略称： TOYOBO Company, Limited) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第10著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第13著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第14著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第15著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第16著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第17著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-04-08 16:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2016-10, OME2016-10 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.1(SDM), no.2(OME) |
| ページ範囲 | pp.39-41 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2016-04-01 (SDM, OME) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]