講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-03-25 15:45
LSIテストにおけるフェイル予測のためのばらつき補正に関する検討 ○小河 亮(奈良先端大)・中村芳行(ルネサス セミコンダクタパッケージ&テストソリューションズ)・井上美智子(奈良先端大) CPSY2015-158 DC2015-112 |
抄録 |
(和) |
近年,データマイニングを用いたテストコスト削減手法が注目を集めている.LSIは多数のテスト工程を経て市場に出荷される.この際,前段のテストの結果から後段のテストでフェイルするLSIを予測できれば,後段のテストを省略し,テストコストを削減すること ができる.
しかし,LSIの特性は製造の際にばらついてしまう.また,テストの際に計測装置ごとに計測値のばらつきが発生する.そのため,LSIの特性やテスト方法に即したばらつきの補正をしなければフェイル予測は難しい.本稿では,製造ばらつきであるパッケージロット間ばらつき,計測ばらつきであるテスタ間およびテスタサイト間のばらつき補正手法を提案する.また,そのばらつき補正方法の効果の有無を評価する手法を提案し,補正手法の有効性を示す.さらに,提案するばらつき補正方法がフェイル予測に有効であることを示す. |
(英) |
Recently, a test cost reduction using data mining has been attracted. It is expected to reduce the cost by predicting failing LSIs in later test processes using result of earlier test processes. However measured values in test processes have variation caused by the manufacturing and measurements themselves. Therefore, it is difficult to predict tests results without correction. In this paper, we propose variation correction method that corrects variations among package-lots, testers, and tester-sites respectively. We also propose a method to evaluate the effectiveness of correction and show that the proposed correction method is effective. Finally, we will consider how the proposed correction method is effective to fail prediction during LSI testing. |
キーワード |
(和) |
データマイニング / バーンインテスト / LSIテスト / ばらつき補正 / 外れ値解析 / / / |
(英) |
data mining / burn-in test / LSI test / variation correction / outlier analysis / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 519, DC2015-112, pp. 271-276, 2016年3月. |
資料番号 |
DC2015-112 |
発行日 |
2016-03-17 (CPSY, DC) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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査読に ついて |
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CPSY2015-158 DC2015-112 |