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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-03-02 10:55 Histogram of Oriented Light Propagationを用いたリソグラフィホットスポットの検出 ○富岡洋一（会津大）・松縄哲明（東芝）  VLD2015-136 |
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| 抄録 | （和） | 近年の半導体製造プロセスにおいて，配線の電気的なショート，断線等の不良を引き起こす危険生の高い箇所であるリソグラフィホットスポットを検出することは，歩留まりやチップの信頼性の向上のために必要不可欠である．比較的高速にホットスポットを検出する手法として機械学習を利用した手法が注目されている．しかし，無数に存在するあらゆるホットスポットパターンのバリエーションを学習することは現実的に不可能であり，学習に使用していない未知のホットスポットを精度良く検出するためには，ホットスポットの特徴を適切に捉えることができる特徴量用いて検出器を学習することが重要である．本稿では，リソグラフィの露光光の伝搬を表現する新しい特徴量と，ホットスポットに類似した非ホットスポットの誤検出を低減する検出器の構成法について報告する． |
| （英） | In recent semiconductor manufacturing process, it is essential to detect and to remove lithography hotspots, which induce printability issues. The machine learning based hotspot detection has recently been received attractive attentions. It is important to use appropriate features to capture essential characteristics of hotspots to precisely detect unknown hotspots that are not used in training. In this paper, we propose a novel layout feature based on the propagation of light passing through a photomask. Moreover, we report methods to construct a reliable hotspot detector that can reduce false alarms which are similar to hotspots. | |
| キーワード | （和） | Design for manufacturability / リソグラフィ / ホットスポット / 輝度勾配 / Real AdaBoost / / / |
| （英） | Design for manufacturability / Lithography / Hotspot / Intensity gradient / Real AdaBoost / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 465, VLD2015-136, pp. 143-148, 2016年2月. | |
| 資料番号 | VLD2015-136 | |
| 発行日 | 2016-02-22 (VLD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2015-136 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD |
| 開催期間 | 2016-02-29 - 2016-03-02 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | システムオンシリコンを支える設計技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | VLD |
| 会議コード | 2016-02-VLD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Histogram of Oriented Light Propagationを用いたリソグラフィホットスポットの検出 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lithography Hotspot Detection Using Histogram of Oriented Light Propagation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Design for manufacturability / Design for manufacturability |
| キーワード(2)（和/英） | リソグラフィ / Lithography |
| キーワード(3)（和/英） | ホットスポット / Hotspot |
| キーワード(4)（和/英） | 輝度勾配 / Intensity gradient |
| キーワード(5)（和/英） | Real AdaBoost / Real AdaBoost |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 富岡 洋一 / Yoichi Tomioka / トミオカ ヨウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 会津大学 (略称： 会津大) University of Aizu (略称： UoA) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松縄 哲明 / Tetsuaki Matsunawa / マツナワ テツアキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 株式会社東芝 (略称： 東芝) Toshiba Corporation (略称： Toshiba) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-03-02 10:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | VLD |
| 資料番号 | VLD2015-136 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.465 |
| ページ範囲 | pp.143-148 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-02-22 (VLD) |
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