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講演抄録/キーワード
講演名 2016-01-28 15:35
面出射光源のための波長・偏波無依存なSi集積45度ミラーの研究
乗木暁博天野 建光電子融合基盤技研/産総研)・志村大輔太縄陽介佐々木浩紀光電子融合基盤技研)・山田浩治光電子融合基盤技研/産総研)・西 英隆土澤 泰浮田茂也佐々木美紀子光電子融合基盤技研)・森 雅彦光電子融合基盤技研/産総研エレソ技報アーカイブへのリンク:EMT2015-122 OPE2015-184 LQE2015-171 EST2015-128 MWP2015-97
抄録 (和) 1.3μm帯のシングルモード面出射光源を実現するため、ダイシング技術をベースとした45度ミラーのSi集積化プロセスを開発した。この技術を用いてSi基板上のSiOx導波路に45度ミラーを集積し、45度ミラーから出力される光ビームの品質を遠視野像 (FFP) の測定により評価した。その結果、45度ミラーの加工プロセスは光ビームの品質に影響を与えず、ミラーから良好なシングルモードビームが出力されていることを確認した。45度ミラー起因の過剰損失を評価した結果、1260~1360nmの波長帯域において0.6dB以下であり、低損失・広帯域であった。また、過剰損の偏波依存性も0.6dB以下であり、両偏波で垂直光出力が可能であることを確認した。 
(英) To realize a surface emitting light source of 1.3μm-wavelength band, we developed a Si integration process of 45 degree mirrors based on dicing technique. We integrated the 45 degree mirrors into SiOx optical waveguides on a Si substrate. Far field pattern (FFP) of optical output from the mirrors were measured to evaluate its beam quality, and we confirmed that high quality single mode beams can be obtained. Optical loss penalty of the integrated mirrors was also evaluated and it was less than 0.6 dB over a wavelength range of 1260-1360 nm. Polarization depended loss penalty was also less than 0.6 dB.
キーワード (和) 面出射光源 / 45度ミラー / 広帯域 / 偏波無依存 / シリコンフォトニクス / ダイシング / /  
(英) Surface Emitting Light Source / 45 degree Mirror / Broadband / Polarization-independent / Si Photonics / Dicing / /  
文献情報 信学技報, vol. 115, no. 433, LQE2015-171, pp. 225-228, 2016年1月.
資料番号 LQE2015-171 
発行日 2016-01-21 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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研究会情報
研究会 LQE EST OPE EMT PN MWP IEE-EMT PEM 
開催期間 2016-01-28 - 2016-01-29 
開催地(和) 神戸市産業振興センター 
開催地(英)  
テーマ(和) フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバーとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、マイクロ波・ミリ波フォトニクス、及び一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 LQE 
会議コード 2016-01-LQE-EST-OPE-EMT-PN-MWP-EMT-PEM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 面出射光源のための波長・偏波無依存なSi集積45度ミラーの研究 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Si Integrated Wavelength/Polarization-Independent 45 Degree Mirror for Surface Emitting Light Source 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 面出射光源 / Surface Emitting Light Source  
キーワード(2)(和/英) 45度ミラー / 45 degree Mirror  
キーワード(3)(和/英) 広帯域 / Broadband  
キーワード(4)(和/英) 偏波無依存 / Polarization-independent  
キーワード(5)(和/英) シリコンフォトニクス / Si Photonics  
キーワード(6)(和/英) ダイシング / Dicing  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 乗木 暁博 / Akihiro Noriki / ノリキ アキヒロ
第1著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所 (略称: 光電子融合基盤技研/産総研)
Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology (略称: PETRA/AIST)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 天野 建 / Takeru Amano / アマノ タケル
第2著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所 (略称: 光電子融合基盤技研/産総研)
Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology (略称: PETRA/AIST)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 志村 大輔 / Daisuke Shimura / シムラ ダイスケ
第3著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 太縄 陽介 / Yosuke Onawa / オオナワ ヨウスケ
第4著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐々木 浩紀 / Hironori Sasaki / ササキ ヒロノリ
第5著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 浩治 / Koji Yamada / ヤマダ コウジ
第6著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所 (略称: 光電子融合基盤技研/産総研)
Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology (略称: PETRA/AIST)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 西 英隆 / Hidetaka Nishi / ニシ ヒデタカ
第7著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 土澤 泰 / Tai Tsuchizawa / ツチザワ タイ
第8著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 浮田 茂也 / Shigenari Ukita / ウキタ シゲナリ
第9著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐々木 美紀子 / Mikiko Sasaki / ササキ ミキコ
第10著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所 (略称: 光電子融合基盤技研)
Photonics Electronics Technology Research Association (略称: PETRA)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 森 雅彦 / Masahiko Mori / モリ マサヒコ
第11著者 所属(和/英) 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所 (略称: 光電子融合基盤技研/産総研)
Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology (略称: PETRA/AIST)
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講演者
発表日時 2016-01-28 15:35:00 
発表時間 25 
申込先研究会 LQE 
資料番号 IEICE-PN2015-71,IEICE-EMT2015-122,IEICE-OPE2015-184,IEICE-LQE2015-171,IEICE-EST2015-128,IEICE-MWP2015-97 
巻番号(vol) IEICE-115 
号番号(no) no.430(PN), no.431(EMT), no.432(OPE), no.433(LQE), no.434(EST), no.435(MWP) 
ページ範囲 pp.225-228 
ページ数 IEICE-4 
発行日 IEICE-PN-2016-01-21,IEICE-EMT-2016-01-21,IEICE-OPE-2016-01-21,IEICE-LQE-2016-01-21,IEICE-EST-2016-01-21,IEICE-MWP-2016-01-21 


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