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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-12-04 15:55 動作音からみた半導体製造装置の故障予知技術 ○中田大貴・久代紀之（九工大）  AI2015-23 |
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| 抄録 | （和） | 半導体製造工場では, 生産効率を向上させるため, 長期間, 装置を稼動させている. 装置の連続的な稼動は, 装置内部の部品に磨耗性の故障を引き起こし, 製造ラインを突発的に止めてしまう. このようなリスクを避けるため, 現場では, 装置のメンテナンスを取り入れている. しかし, 装置が故障するタイミングを正確に予知するのは難しく, メンテナンスの間隔は最適でない. 本研究では, 故障の予兆をとらえ, 容易にデータを取得できる動作音を診断材料とし, 実験データと実フィールドでのデータから, 装置を止めずに故障を予知するシステムの開発を行う. |
| （英） | In Semiconductor manufacturing factory, Semiconductor manufacturing equipment is always operated in the long term to improve efficiency of manufacturing and stops manufacturing line. Operating of equipment in the long term causes wearing error for the parts of equipment correctly. To avoid this risk, in the factory, they maintain the equipment. However, it is difficult to predict when the equipment will break down and the timing of maintenance is not optimal. In this paper, we use the operating sounds as the factor of diagnosis because operation sounds can catch the sign of error and can be acquired simply as data. We develop the systems to predict error without stopping the equipment by test data and the data of the fields. | |
| キーワード | （和） | 故障 / 予知 / 診断 / 半導体製造装置 / 真空ポンプ / 動作音 / / |
| （英） | Error / Predict / Diagnosis / Semiconductor Manufacturing Equipment / Vacuum Pump / Operation Sounds / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 337, AI2015-23, pp. 61-66, 2015年12月. | |
| 資料番号 | AI2015-23 | |
| 発行日 | 2015-11-27 (AI) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | AI2015-23 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | AI |
| 開催期間 | 2015-12-04 - 2015-12-04 |
| 開催地（和） | 九州工業大学サテライト福岡天神 |
| 開催地（英） | Kyutech-Salite |
| テーマ（和） | 「データ市場特集?：イノベーション資源としての論理とデータ」および一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | AI |
| 会議コード | 2015-12-AI |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 動作音からみた半導体製造装置の故障予知技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Technics of predicting error of Semiconductor manufacturing equipment by Operation sounds |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 故障 / Error |
| キーワード(2)（和/英） | 予知 / Predict |
| キーワード(3)（和/英） | 診断 / Diagnosis |
| キーワード(4)（和/英） | 半導体製造装置 / Semiconductor Manufacturing Equipment |
| キーワード(5)（和/英） | 真空ポンプ / Vacuum Pump |
| キーワード(6)（和/英） | 動作音 / Operation Sounds |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中田 大貴 / Daiki Nakata / ナカタ ダイキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 九州工業大学 (略称： 九工大) Kyushu Institute of technlogy (略称： Kyutech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久代 紀之 / Noriyuki Kushiro / クシロ ノリユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 九州工業大学 (略称： 九工大) Kyushu Institute of technlogy (略称： Kyutech) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-12-04 15:55:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | AI |
| 資料番号 | AI2015-23 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.337 |
| ページ範囲 | pp.61-66 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-11-27 (AI) |
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